Qu'est-ce que la gravure ionique réactive?

La gravure ionique réactive est un type de technologie utilisée en microfabrication pour éliminer les substances des plaquettes. Les plaquettes sont de petites bandes de semi-conducteurs utilisées dans la création de microdispositifs. La technologie de gravure ionique réactive garantit qu'elles restent exemptes de matériaux pouvant nuire à leur efficacité. Les procédures de microfabrication sont effectuées avec des dispositifs spécialement conçus qui localisent la substance à éliminer sans sacrifier l’intégrité de la tranche.

Le dispositif de gravure ionique réactive le plus courant est constitué d'un compartiment à vide en forme de cylindre avec un support isolé pour la plaquette fixée à la partie inférieure de la chambre. Il y a de petits trous dans la partie supérieure du bateau qui laissent passer les gaz. Différents types de gaz sont utilisés, en fonction des besoins individuels d’une plaquette donnée.

Le plasma à couplage inductif est un autre mode de cette technologie. Avec cet appareil, le plasma est fabriqué par un champ magnétique hautement spécialisé. Il n’est pas rare d’atteindre des concentrations plasmatiques élevées avec cette méthode.

Le plasma de gravure ionique réactive est un état de la matière chimiquement réactif créé par le champ électromagnétique radiofréquence (RF), plus standard. Les ions dans le plasma ont une quantité d'énergie inhabituellement élevée. Ces ions réagissent aux débris sur une plaquette et agissent pour éliminer les défauts à la surface.

Le processus chimique impliqué dans la gravure ionique réactive est multiple. Tout d'abord, un champ électromagnétique important est envoyé à la chambre de plaquette. Le champ oscille alors, ce qui ionise les molécules de gaz dans le vaisseau et élimine leurs électrons. Cela se traduit par la création du plasma.

La gravure ionique réactive est un type d'une catégorie plus large d'élimination de la microfabrication appelée gravure sèche. Il n’utilise aucun liquide dans le processus d’élimination, contrairement à la gravure humide, qui utilise divers acides et produits chimiques pour atteindre le même objectif. Etant donné que la gravure humide provoque une sous-gravure de la plaquette, ainsi que des quantités importantes de déchets toxiques, la gravure sèche devient une méthode plus courante d'élimination des produits chimiques de la plaquette.

L'un des inconvénients majeurs de la gravure ionique réactive est son coût. Comparé aux techniques de gravure humide, il est beaucoup plus coûteux en raison des équipements spécialisés nécessaires. Les procédés de gravure sèche en général sont toutefois beaucoup plus efficaces pour atteindre des zones plus délicates d'une tranche. Cependant, il est important de noter que certains travaux ne nécessitent pas les détails minutieux fournis par cette forme de gravure; les procédures de gravure humide peuvent tout aussi bien accomplir cette tâche.