박막 기판의 종류는 무엇입니까?
나노 미터 미만에서 수 마이크로 미터 두께까지 측정되는 박막은 기판의 도움 없이는 너무 얇고 다루기 어렵습니다. 필름은 기판의 표면에 생성되어야하며 제작 후에이 재료에 붙어 있어야합니다. 박막 기판에는 여러 가지 유형이 있으며 엔지니어는 박막의 용도에 따라 기판을 선택했습니다. 기판은 금속, 세라믹, 유리, 플라스틱 또는 이들 재료의 조합으로 만들어 질 수있다.
세라믹 박막 기판은 전자 제품에 사용되는 것을 포함하여 다양한 박막에 사용된다. 초전도체, 반도체 및 마이크로 칩은 일반적으로 세라믹 기판에서 성장하는 박막을 사용합니다. 일반적인 세라믹 기판으로는 알루미나, 베릴 리아 및 질화 알루미늄이 있습니다.
알루미나는이를 제조하는데 사용되는 재료가 쉽게 입수 가능하고 저렴하기 때문에 가장 일반적으로 사용되는 세라믹 기판이다. 이 소재는 내구성이 뛰어나고 열을 잘 전달하며 강한 산과 염기에 강합니다. 베릴 리아는 융점이 높고 우수한 절연체이기 때문에 또 다른 일반적인 선택입니다.
최대 2,498 화씨 (섭씨 1,370도)의 질화 알루미늄 질화물은 가장 일반적인 세라믹 박막 기판 중 하나입니다. 또한 열을 빠르게 전도하고 가열해도 팽창하지 않습니다. 기판을 제조하는데 사용되는 화학 물질은 전형적인 반도체에 사용 된 화학 물질과 반응하지 않는다. 이 재료는 종종 방열판, 마이크로파 장치, 전력 트랜지스터 및 고온에서 물체를 처리하는 데 사용되는 재료에 사용됩니다.
유리 또는 투명 플라스틱은 일반적으로 현미경 및 망원경과 같은 광학 장치에서 발견되는 박막 기판으로 사용됩니다. 이들 기판에는 다양한 기능을 수행하도록 설계된 다양한 박막 렌즈가 장착 될 수있다. 렌즈를 통해 허용되는 광 주파수 범위를 좁히거나 특정 광 주파수를 향상시킬 수 있습니다. 서로 다른 렌즈는 서로 다른 사양으로 설계되었으며 단일 유리 기판에는 여러 가지 다른 방식으로 빛의 품질을 변경하는 여러 가지 다른 박막 필터가 장착 될 수 있습니다.
일부 금속은 또한 박막 기판으로 사용될 수있다. 특정 금속의 특성은 어떤 박막이 가장 잘지지되는지 결정하는 데 사용됩니다. 금속 기판은 일부 전자 장치를 포함하여 다양한 박막 장치에 사용된다.