리니어 스테이지 란?
선형 스테이지는 모션 시스템에 의해 이동되는 객체의 모션 축을 안정화시킵니다. 생산 된 미끄럼 운동으로 인해 일부 사람들은 장치를 스테이지의 선형 운동 베어링 구성 요소 인 선형 슬라이드라고 부릅니다. 선형 또는 병진 스테이지의 부분은 선형 모션 베어링 및 가이드에 의해 연결된 플랫폼 및베이스를 포함합니다. 시스템은 X, Y 또는 수직 Z 축이든 단일 축을 따라 모션 변환을 허용합니다.
선형 스테이지의 플랫폼은 항상베이스와 관련하여 이동합니다. 장치 안내서에 따라 동작이 한 축으로 제한됩니다. 가이드 유형에는 볼 거리가 짧고 무게가 짧은 이동 거리와 낮은 용량을 제공하며 가장 저렴합니다. 굴곡 가이드는 매우 정확하고 마모되지는 않지만 이동 범위가 짧습니다. 크로스 롤러 베어링, 대용량 원통형 슬리브 및 도브테일 가이드도 선형 스테이지와 함께 사용되는 일반적인 스타일입니다.
이동 단계의 선형 액추에이터는 플랫폼이 움직일 때 플랫폼의 위치를 제어합니다. 수동 구성에서 리드 스크류의 컨트롤 노브는 스테이지의 각도 위치를 나타냅니다. 광학 응용 분야에서 정밀 스테이지는 리드 스크류가 허용하는 것보다 높은 정확도를 요구하므로 미세 피치 스크류 또는 마이크로 미터가 플랫폼의 금속 패드에 부착됩니다. 모션 어플리케이션에서 스텝이라고하는 증분으로 움직 이도록 설정된 스테퍼 모터로 모션을 제어 할 수도 있습니다.
엔코더가있는 DC 모터를 선형 스테이지에 통합 할 수 있습니다. 고정 증분 모션은이 유형에 적용되지 않으므로 스케일이 스테이지에 통합되고 인코더는 스케일과 관련된 스테이지 위치를 측정합니다. 포지셔닝 데이터는 스테이지를 미리 설정된 위치로 자동 이동시키는 컨트롤러로 릴레이됩니다. 둘 이상의 모션 축이 필요한 시스템은 현미경에 사용되는 2 축 스테이지와 같은 선형 스테이지를 결합 할 수 있습니다. 수직 운동이 필요한 경우 3 축 스테이지가 사용됩니다.
모션 시스템의 경우 정확성이 중요합니다. Abbe 오류는 시스템의 각도 오류로 인한 일반적인 변위입니다. 다른 오류에는 피치, 롤 및 요가 포함되며 X 및 Y 축의 정확도는 다른 축의 직교 정렬에 따라 달라집니다. 리니어 스테이지에는 로터리 및 틸트 컨트롤이 포함되어있어 최대 6 개의 모션 축이 가능합니다.