마이크로 액추에이터 란?

액츄에이터는 일반적으로 에너지 원을 사용하여 기계 부품을 이동 또는 제어합니다. 그들은 종종 모터와 다양한 기계에서 발견됩니다. 수년에 걸쳐 많은 종류의 기계 장치가 소형화되었지만이 프로세스는 일반적으로 개별 구성 요소도 훨씬 더 작아야합니다. 21 세기의 소형화는 마이크로 액추에이터 및 기타 부품이 너무 작아서 강력한 현미경을 사용하여 볼 수있는 수준까지 발전했습니다. 리소그래피 및 마이크로 머시닝과 같은 산업 공정은 마이크로 액츄에이터를 만드는 데 사용되며 다양한 유형도 가능합니다.

정전기 마이크로 액추에이터는 하나의 일반적인 다양성이지만 과학자들은 모터와 같은 장치에 에너지를 공급하기 위해 더 많은 전력을 생산할 수있는 전자기 품종을 만들 수도 있습니다. 때로는 만들기가 어렵지만 집적 회로를 만드는 데 일반적으로 사용되는 방법으로 제작됩니다. 약 0.04 인치 (1mm) 정도의 작은 모터가 만들어졌으며, 연구원들은 작은 카테터를 생물학적 세포에 삽입하기 위해 종종 사용했습니다.

또한 결정과 유사하게 반응하는 복합 재료를 가진 압전 마이크로 액추에이터가 있는데,이 스위치를 누르면 전압이 발생합니다. 매우 짧은 거리에서 모션을 생성 할 수있는 박막이 실리콘에 증착 될 수 있습니다. 그들은 때때로 소형 소형 회 전자에서 사용되었습니다. 초음파 마이크로 액추에이터는 종종 압전 장치에 내장 된 소형 모터에 사용됩니다. 예를 들어, 소형 카메라의 자동 초점 메커니즘에 통합 할 수 있습니다.

움직이는 기계 구성 요소는 소규모로 구축 할 수 있지만, 정전기 마이크로 액추에이터는 일반적으로 전하에 따라 구부러지는 재료로 만들어집니다. 운동은 일반적으로 미시적이며 소량의 힘이 발생합니다. 이 원리를 기반으로 일부 회전 모터와 리니어 모션 콤 드라이브가 개발되었습니다.

마이크로 액추에이터를 사용하여 디스플레이 및 프로젝터 용 소형 거울을 만들 수 있습니다. 하드 드라이브를 제어하기위한 미세 전류 릴레이와 작은 메커니즘은 종종 이러한 소형 장치를 사용합니다. 그들은 종종 여러 종류의 소형 이동 부품을 포함하는 범주 인 MEMS (Micro-Electromechanical Systems)라고 불린다.

마이크로 액츄에이터의 생산은 부품을 실리콘으로 에칭함으로써 달성 될 수있다. 리소그래피는 종종 회로를 만드는 데 사용됩니다. 첨가 될 부분으로 구성된 빛, 화학 물질 및 층이 일반적으로이 공정에서 결합됩니다. 완제품은 일반적으로 층으로 생산되는 반면, 미세 가공에는 종종 개별 원자와 세포를 배치하기 위해 레이저와 주사 전자 현미경이 필요합니다. 두 프로세스 모두 마이크로 액추에이터 부품을 이동하고 마이크로 미니어처 장치를 구축하는 데 사용할 수 있습니다.