엑시머 란?
엑시머 (excimer)는 여기 된 이량 체 (excited dimer) 라 불리는 2 개의 원자의 일시적 조합으로, 적어도 하나의 원자는 전자적으로 여기 된 상태로 존재한다. 정상적인 조건에서 원자는 양자를 둘러싸고있는 에너지 레벨 당 2 개의 전자를 포함하며 전자는 반대 방향으로 회전합니다. 원자가 빛으로부터 에너지를 흡수하면 하나의 전자가 더 높은 에너지 궤도로 이동하여 짝을 이루지 않은 전자를 남길 수 있습니다. 원자는 다른 원자와 결합하여 이들 여기 된 환경에서만 이량 체를 형성하고, 이량 체가 에너지를 방출하고 전자가 기저 상태로 복귀 할 때, 이량 체가 해리되어 형광을 방출한다. 엑시머는 전형적으로 단지 수 나노초 지속될 수있다.
엑시머 레이저는 눈 수술, 마이크로 머시닝 및 컴퓨터 칩 생성에 사용되는 자외선 레이저입니다. 압력과 전기로 레이저는 불소 또는 염소와 같은 반응성 가스와 크립톤 또는 아르곤과 같은 불활성 가스의 혼합물을 통해 전류를 통과시켜 이량 체를 생성합니다. 비활성 기체 분자는 일시적으로 반응성 기체에 결합하여 자발적으로 또는 자극에 의해 에너지를 방출하는 여기 된 화합물을 형성합니다. 분자가 에너지를 방출하고 해리함에 따라 자외선 (UV) 레이저 광이 방출됩니다.
자외선은 생물학적 또는 유기 조직 또는 물질에서 분자 결합을 방해합니다. 그것은 침투도가 낮으며 영향을받은 조직은 연소하기보다는 공기 중으로 분해됩니다. 이러한 이유로, 엑시머 레이저는 안구 표면상의 표면 조직을 재 형성하거나 제거하는데 사용된다. LASIK (Laser-assisted interstitial keratomilieusis)는 각막의 곡률을 조정하기 위해 각막의 외부 플랩 아래에있는 조직에 엑시머 유래 UV 광을 적용하는 것입니다. 각막 모양의 평평은 근시를 치료하고, 각막의 가파르게하면 시력을 치료합니다. 또한, 난시를 생성하는 불규칙한 각막 윤곽 영역을 제거 할 수 있습니다.
초점 문제를 치료하기위한 안과 수술 외에도 엑시머 레이저에는 다른 건강 관련 응용 분야가 있습니다. 엑시머 레이저는 혈관 성형술 수술에 사용되어 막힌 동맥의 막힘을 엽니 다. 피부과 전문의는 크세논 클로라이드 엑시머를 사용하여 백반증 및 건선을 포함한 다양한 피부 병변을 분해합니다. 안과 의사는 엑시머 레이저를 사용하여 각막 흉터를 정확하게 제거 할 수 있습니다.
크립톤-불소 또는 아르곤-불소 이량 체를 사용하는 DUV 레이저는 193에서 248 나노 미터 (7.8 X10-6에서 9.8 X 10-6 인치)의 파장을 가진 빛을 방출합니다. 산업적 관점에서 볼 때, 마이크로 칩 장치 제조업체는 고해상도 포토 리소그래피에 이러한 딥 엑시머 레이저를 사용합니다. 이를 통해 10 나노 미터의 작은 공간에서 데이터를 캡처 할 수 있었으며, 기존 기술로 생산 된 칩보다 더 작고 밀도가 높은 컴퓨터 칩을 생산할 수있었습니다. 마이크로 칩은 1990 년 0.5 마이크로 미터 (2 X 10 -5 인치)에서 2010 년 약 43 나노 미터 (1.7 x 10-6 인치)로 점차 크기가 줄어 들었습니다. 또한 엑시머 레이저는 플라스틱과 폴리머를 특별하게 절단 할 수있게 해주었습니다. 정도.