오거 전자 분광법은 무엇입니까?

오거 전자 분광법 (AES)은 종종 표면의 얇고 미세한 층의 화학적 조성을 결정하는 데 사용됩니다. 전자라고 불리는 입자는 일반적으로 재료를 목표로하며, 오거 효과를 트리거하며, 여기서 원자의 내부 쉘로부터의 전자가 제거되고, 더 높은 수준의 입자가 제한되고, 다른 전자가 방출된다. 매우 높은 진공 상태에서 수행되는 테스트는 일반적으로 전자 건, 분석기, 탐지기 및 데이터 레코더로 수행됩니다. 정보는 일반적으로 그래픽으로 분석됩니다. 피크의 특성은 일반적으로 샘플에 존재하는 화합물을 식별하는 데 도움이됩니다.

전자 빔이 종종 사용되지만 X- 레이는 때때로 방출됩니다. 테스트되는 재료의 유형은 사용되는 것을 결정합니다. 예를 들어, 산화물은 높은 수준의 전자에 노출되면 저하 될 수 있습니다. 오거 전자의 에너지는 일반적으로 요소에 고유하기 때문에 물질을 식별 할 수 있습니다. 오거 전자 분광법에서, 파탈출하는 티클은 일반적으로 다른 사람들만큼 활력이 없습니다. 그들은 일반적으로 탈출 할 수 있도록 표면에 매우 가까워 야하며, AES 동안 존재하는 가스는 입자가 검출기에 도달하는 것을 방지 할 수 있습니다.

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오거 전자 분광법에 사용되는 전자 건은 일반적으로 입자의 소스와 빔에 초점을 맞춘 렌즈로 구성됩니다. 렌즈는 정전기 또는 전자기 일 수 있습니다. 사용되는 것은 필요한 해상도에 따라 다릅니다. 오거 전자 분광법 기술의 일부인 전자 에너지 분석기는 에너지 수준에 의해 방출 된 입자를 분류 할 수 있습니다. 분석기는 원통형 거울 또는 두 개의 반구 동심 쉘로 설계 될 수 있습니다.

단일 또는 다 채널 검출기는 종종 오거 전자 분광법에 사용됩니다. 그런 다음 데이터는 그래프의 피크 세트로 분석됩니다. 스캔은 보통 완료하는 데 몇 분이 걸립니다LE 고해상도 측정에는 최대 25 분이 소요될 수 있습니다. 설문 조사 스캔은 일반적으로 존재하는 요소를 식별하는 반면, 다른 스캔은 특정 원자가 얼마나 농축되는지 알 수 있습니다. 빔이 샘플을 통해 스캔되면 측정 된 표면의 맵을 생성 할 수 있습니다.

오거 전자 분광학 과학은 종종 많은 물리 및 화학 응용 분야에서 사용됩니다. 표면의 요소를 식별하는 것 외에도 산화 및 부식도 감지하는 데 사용될 수 있습니다. 온도 반응 및 관련 피로는 AES를 사용하여 분석 할 수 있습니다. 이 기술은 또한 오염 물질에 대한 통합 회로를 검사하는 데 사용될 수 있지만, 공정의 제한은 시험 된 재료의 표면에 종종 손상이 있다는 것입니다.

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