벌크 마이크로 머시 란 무엇입니까?

벌크 마이크로 머신은 매우 작은 기계 또는 전기 부품을 만드는 방법입니다. 이 과정은 일반적으로 실리콘 웨이퍼를 사용하지만 때로는 플라스틱 또는 세라믹 재료도 사용합니다. 벌크 마이크로 머신은 단단한 조각으로 시작하여 표면 마이크로 머시 닝과는 달리 최종 형태에 도달 할 때까지 재료를 제거하여 층별로 조각 층을 만듭니다. 벌크 마이크로 머신을 수행하는 가장 일반적인 방법은 선택적 마스킹 및 습식 화학 용매를 통한 것입니다. 이 방법에 대한 새로운 대안은 원치 않는 재료를 제거하기 위해 플라즈마 또는 레이저 시스템을 사용하여 건식 에칭입니다. 이것은 일반적으로 습식 에칭보다 더 정확하지만 더 비쌉니다.

마이크로 마킹은 정말 작은 부품을 만드는 과정입니다. 이 구성 요소는 펜 팁 크기 인 다이오드에서 톱니 기어에 이르기까지 모든 것이 될 수 있습니다. 이 과정을 수행하는 두 가지 주요 방법이 있습니다. Surface Micromachining은 실리콘 웨이퍼의 개별 층을 사용하여 상단에 조각을 만듭니다.기존 레이어의. 이것은 매우 중요한 과정이지만 전적으로 독립적이고 독특한 작품을 만드는 것이 더 어렵습니다.

이러한 유형의 구성 요소를 만들기 위해 제조업체는 대량 마이크로 머시 닝을 사용합니다. 여러면에서 이것은 훨씬 작은 규모로 대리석에서 조각상을 조각하는 것과 비슷합니다. 실리콘 웨이퍼는 최종 조각에서 원치 않는 부품을 제거하기 위해 처리됩니다. 대량 처리는 큰 곳에서 작게 진행되는 반면 표면 방법은 작게 진행됩니다.

대다수의 대량 마이크로 마킹은 실리콘을 사용합니다. 이 소재는 지각의 거의 4 분의 1을 구성하기 때문에 매우 저렴합니다. 또한, 그것은 인간의 모발보다 얇은 층으로 분해 될 수있는 매우 미세한 결정 구조를 가지고 있습니다. 이를 통해 재료는 거시적뿐만 아니라 미세한 수준에서 작동 할 수 있습니다.

벌크 마이크로 마코의 가장 일반적인 방법ining을 습식 화학 에칭이라고합니다. 먼저, 공작물은 선택된 용매로부터 그것을 보호하는 재료로 덮여 있습니다. 그런 다음 보호 마스크를 선택적으로 제거하여 나오는 조각의 영역을 노출시킵니다. 공작물은 용매에 노출되어 보호되지 않은 영역을 녹여 나머지는 손상되지 않습니다. 그 후, 나머지 마스킹 재료가 제거됩니다.

벌크 마이크로 머신을위한 최신 방법을 드라이 에칭이라고합니다. 이것은 고정밀 장치, 종종 레이저를 사용하여 원치 않는 재료를 기화시킵니다. 습식 과정과 비교할 때, 이것은 몇 단계 적은 단계와 잠재적으로 위험한 용매의 전체 부족입니다. 이 과정이 더 인기가없는 주된 이유는 습식 방법과 비교할 때 상대적으로 새롭고 장비 구매 비용입니다.