매우 높은 진공 청소기는 무엇입니까?

초고 진공 청소율은 10 -7 pascal 또는 100 개의 나노 파스칼 (파스칼의 1 백만 번째)보다 낮은 압력을 나타냅니다. 이에 비해 대기압은 101.3 kPa (킬로 파스 칼)이며, 10 억 배 이상 더 높고, 전구 내부의 압력은 약 1 파스칼이고, 열 벽의 압력은 약 0.1 파스칼입니다. 지구 주변 지역의 외부 공간조차도 매우 높은 진공 청소기는 매우 높은 진공 청소기가 아닙니다. 약 100 마이크로 파스 칼의 압력을 가지므로 초고는 진공 청소기보다 천 배 더 큽니다. 매우 높은 진공 상태에서, 각 가스 분자의 평균 자유 경로는 40km이므로,이 분자는 서로 충돌하기 전에 챔버의 벽과 여러 번 충돌합니다.

초고 진공 진공은 주로 오거 전자 분광법, X- 선 광전자 분광법, 2 차 이온 질량 분광법, 열 탈착 분광법, 각각 분해 광 광전 방지 분광 및 박막 성장 기술과 같은 표면 분석 기술에 주로 사용됩니다.분자 빔 에피 택시 및 UHV 화학 증기 증착과 같은 Ng 고순도. 초고 진공 청소기는 입자 가속기에서 빈 빔 경로를 만드는데도 사용됩니다.

매우 높은 진공 청소기를 만들려면 특별한 조치가 필요합니다. 특수 챔버 설계 최소화, 평행 펌프를 포함한 고속 펌프는 사용되어야하며, 높은 컨덕턴스 튜브는 펌프에 사용되며, 볼트 나사에서와 같이 갇힌 가스 구덩이 (볼트 나사)는 제거되어야하며, 챔버 벽은 극저온 온도로 냉각되어야합니다. 250 ° C ~ 400 ° C (482 ° F ~ 752 ° F)에서 구워 탄화수소 또는 물 추적을 제거합니다. 챔버의 작은 균열을 통한 가스 분자의 느린 침입 인 아웃가스싱은 큰 문제가 될 수 있습니다. 일부 챔버S는 제조 방식으로 인해 매우 높은 진공 청소기를 생성 할 수 없으며 하드웨어를 버리고 교체해야합니다. 이러한 모든 이유로, 초고속 진공 청소기를 달성하는 것은 비싸고 어려울 수 있습니다.

매우 높은 진공 청소기는 극단적 인 것처럼 보일 수 있지만 일부 환경은 달의 표면과 성간 공간을 포함하여 더 나은 진공 상태입니다. Boötes Void와 같은 일부 공간 영역은 너무 희귀하여 입방 미터당 원자가 하나뿐입니다.

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