Hva er reaktiv ion -etsing?
Reaktiv ion -etsing er en type teknologi som brukes i mikrofabrikasjon for å fjerne stoffer fra skiver. Vafere er små halvlederstrimler som brukes i opprettelsen av mikrodevices, og reaktiv ion -etseteknologi sikrer at de forblir fri for materialer som kan påvirke effektiviteten deres negativt. Mikrofabrikasjonsprosedyrer utføres med spesialdesignede enheter som kartlegger stoffet som skal fjernes uten å ofre integriteten til skiven.
Den vanligste reaktive ionetingsenheten er laget av en sylinderformet vakuumrom med en isolert holder for skiven til den nederste delen av Chamumber. Det er små hull i toppen av fartøyet som slipper inn gass. Ulike typer gasser brukes, avhengig av de individuelle kravene til en bestemt skive.
Induktiv koblet plasma er en annen modus for denne teknologien. Med denne enheten er plasmaet laget av et høyt spesialisert magnetfelt. Det er ikke uvanlig å oppnå høye nivåer avPlasmakonsentrasjon med denne metoden.
Reaktiv ionetingplasma er en tilstand av materie som er kjemisk reaktiv og skapes av det mer standard radiofrekvens (RF) elektromagnetisk felt. Ioner i plasmaet har en uvanlig høy mengde energi. Disse ionene reagerer på ruskene på en skive og arbeider for å fjerne defektene på overflaten.
Den kjemiske prosessen som er involvert i reaktiv ion-etsing er en mangesidig. For det første sendes et betydelig elektromagnetisk felt til skivekammeret. Feltet svinger deretter, som ioniserer molekylene av gass i karet og fjerner elektronene deres. Dette resulterer i opprettelsen av plasmaet.
Reaktiv ion -etsing er en type av en bredere kategori av fjerning av mikrofabrikasjoner som kalles tørr etsing. Den bruker ingen væsker i fjerningsprosessen, i motsetning til våt etsing, som bruker forskjellige syrer og kjemikalier for å oppnå samme ende. Siden våt eTching forårsaker undergraving til skiven, så vel som betydelige mengder giftig avfall, blir tørr etsing en mer populær metode for å fjerne skive kjemisk fjerning.
En av de største ulempene med reaktiv ioneting er kostnad. Sammenlignet med våte etseteknikker er det mye dyrere på grunn av det spesialiserte utstyret som trengs. Tørre etsingsprosesser generelt er imidlertid langt mer effektive for å nå vanskeligere områder av en skive. Det er imidlertid viktig å huske at noen jobber ikke krever minuttdetalj gitt av denne formen for etsing, og våt etseprosedyrer kan utføre oppgaven like effektivt.