O que é um sistema de pulverização?

A pulverização é um processo de deposição de filme fino, no qual um material alvo sólido é ejetado na superfície de um substrato para formar um revestimento fino. Um sistema de pulverização é uma máquina na qual ocorre um processo de pulverização. Ele contém todo o processo e permite que um usuário ajuste os materiais de temperatura, potência, pressão, alvo e substrato. Em um sistema de pulverização, uma câmara de vácuo contém o material alvo, uma fonte de energia e um plasma a gás. O gás, que geralmente é um gás nobre, como o argônio, é trazido para a câmara a uma pressão muito baixa para iniciar o processo. Isso faz com que o gás ionize e forme íons positivos conhecidos como cátions. Esses cátions, por sua vez, bombardeiam o material alvo, batendoPequenos pedaços que viajam pela câmara e se depositam no substrato. O processo é facilmente perpetuado na câmara do sistema de pulverização, porque os elétrons extras são liberados durante a ionização do plasma a gás.

Os sistemas

Sputtering variam em termos de estrutura, fonte de energia, tamanho e preço. A orientação do material alvo e do substrato é específica para cada máquina. Alguns sistemas enfrentarão o material alvo paralelo à superfície do substrato, enquanto outros inclinam a superfície para formar um padrão de deposição diferente. Sputtering confocal, por exemplo, orients várias unidades de material alvo em um círculo apontando para um ponto focal. O substrato nesse tipo de sistema pode ser girado para mais deposições uniformes.

A fonte de energia também varia, porque certos sistemas usam potência de corrente direta (CC), enquanto outros usam potência de radiofrequência (RF). Um TypE do sistema de pulverização, conhecido como pulverização de magnetron, também inclui ímãs para estabilizar os elétrons livres e até mesmo sair da deposição de filmes finos. Esses métodos dão ao sistema de pulverização diferentes qualidades em relação à temperatura e velocidade da deposição.

Os sistemas

Sputtering variam em tamanho, desde sistemas de desktop a grandes máquinas maiores que uma geladeira. A câmara interna também varia em tamanho, mas geralmente é muito menor que a própria máquina; A maioria das câmaras tem diâmetros menores que 1 metro (cerca de 1 metro). O custo de um sistema de pulverização varia de menos de US $ 20.000 em dólares (USD) usados, a mais de US $ 650.000 para um sistema novo ou personalizado.