O que é o filme fino da pulverização?
A pulverização de filme fino é um processo no qual um filme fino é aplicado a uma superfície batendo partículas de uma fonte de destino separada. O processo geralmente ocorre em uma câmara de baixa pressão na qual o plasma gasoso é bombeado. Os íons carregados positivamente nessas partículas de batida de plasma livres da fonte de destino em um processo conhecido como pulverização. Essas partículas viajam para a superfície do destinatário, conhecidas como substrato, onde são depositadas nela na forma de um filme fino. Na pulverização de DC, uma corrente direta cobra positivamente o plasma, enquanto a Sputtering de RF usa ondas de rádio para carregá -lo. O plasma carregado positivamente acelera em um alvo carregado negativamente, liberando partículas do material alvo que deposita no substrato. A pulverização de DC é restrita a usar para materiais condutores que podem conter uma corrente elétrica, enquanto a pulverização de RF é apropriadaComeu para isolantes materiais também.
À medida que são ejetados do material alvo, as partículas viajam em uma linha reta até entrar em contato com alguma coisa. Algumas dessas partículas são depositadas na superfície que precisam ser revestidas. Partículas que viajam em outras direções podem ser depositadas nas paredes da câmara ou em outras superfícies dentro da câmara.
O gás de argônio é tipicamente o material plasmático usado para derrubar partículas livres do material alvo, mas outros gases inertes, como neon ou krypton, às vezes são usados. O plasma acelerado pode derrubar partículas a partir desse material alvo na forma de átomos individuais, grupos de átomos ou como moléculas. Numerosos tipos de materiais de pulverização estão disponíveis para uso em uma variedade de aplicações. A pulverização de filmes finos pode ser usada para depositar filmes metálicos ou não metálicos em substratos feitos de metal, vidro ou outro materials.
Aplicações comuns usando a pulverização de filmes finos incluem o revestimento de instrumentos ópticos, como espelhos telescópicos, e o revestimento de produtos de consumo, como discos compactos e discos de vídeo digital. Dispositivos semicondutores eletrônicos e painéis fotovoltaicos também são fabricados com essa tecnologia. O uso da pulverização de filmes finos até se expandiu para a fabricação de medicamentos que são administrados ao paciente na forma de um filme fino.
Existem várias vantagens em usar esse método. A pulverização de filmes finos é relativamente rápida em comparação com outros processos semelhantes. Também permite um bom controle da espessura do filme depositado. Além disso, os materiais -alvo não precisam ser aquecidos como nos processos de evaporação, para que possam ser mantidos a uma temperatura baixa, se necessário.