เซ็นเซอร์การไหลของก๊าซมักเรียกกันว่าเครื่องวัดการไหลของมวลทำงานโดยการคำนวณปริมาตรแก๊สที่เคลื่อนที่ในท่อหรือพื้นที่ จำกัด ในขณะที่บัญชีสำหรับตัวแปรอุณหภูมิและความดัน ใช้วิธีการต่าง ๆ สำหรับเซ็นเซอร์การไหลของก๊าซ เหล่านี้รวมถึงการวัดโดยใช้คลื่นเสียงที่ปล่อยออกมาและเก็บรวบรวมโดยเครื่องแปลงความถี่คลื่นเสียงและมิเตอร์วัดการไหลของก๊าซที่วัดมวลรวมจริงที่ผ่านจุดหนึ่ง
เครื่องวัดการไหลมาในหลากหลายรูปแบบและความสามารถในการวัด เครื่องวัดอัตราการไหลของโบลิทาลิสนั้นใช้เอฟเฟกต์โคริโอลิสกับวัตถุที่เคลื่อนไหวโดยการวัดมวลของเหลวตามการสั่นสะเทือนที่เกิดขึ้นในหลอดขณะที่ผ่านไปโดยการวิเคราะห์รูปแบบคลื่นที่การสั่นสะเทือนสร้างขึ้น เช่นเดียวกับการวัดการไหลด้วยคลื่นอัลตราโซนิกมิเตอร์วัดการไหลของดอปเลอร์ยังวิเคราะห์คลื่นเสียงตามผลของดอปเลอร์เพื่อคำนวณมวลผ่านการเปลี่ยนแปลงความถี่และความกว้างของคลื่นเสียงเมื่อมวลไหลเข้าและออกจากเซ็นเซอร์การไหลของก๊าซดอปเลอร์ เครื่องวัดอัตราการไหลแบบแปรผันมักจะใช้เป็นเซ็นเซอร์การไหลของก๊าซซึ่งต้องการอุปกรณ์โฟลว์อย่างง่ายในหลอดที่ถูกเคลื่อนย้ายโดยแรงของปริมาตรแก๊สขณะที่มันผ่านไป
ในทางกลับกันเซนเซอร์การไหลของของเหลวนั้นสามารถออกแบบได้ง่ายกว่าเนื่องจากการไหลของของเหลวจะได้รับผลกระทบมากกว่าแก๊สตามอุณหภูมิและความผันผวนของแรงดัน เนื่องจากเซ็นเซอร์การไหลของก๊าซถูกสร้างขึ้นเพื่อวัดปริมาตรและไม่ใช่คุณภาพความร้อนของก๊าซเช่นในก๊าซธรรมชาติที่ใช้ในการทำความร้อนในบ้านและปรุงอาหารด้วยการคำนวณตามมูลค่าทางเศรษฐกิจที่แท้จริงของก๊าซจึงต้องแตกต่างกันไปตามองค์ประกอบ องค์ประกอบที่มีอยู่ในปริมาณก๊าซสามารถแตกต่างกันอย่างมีนัยสำคัญแม้ว่าปริมาณตัวเองจะไม่เปลี่ยนแปลง ดังนั้นผู้ให้บริการสาธารณูปโภคจึงรวมการควบคุมแรงดันเข้ากับการไหลของก๊าซและทำการวิเคราะห์สเปกตรัมของแก๊สโครมาโตกราฟเพื่อตรวจสอบองค์ประกอบทางเคมีที่แท้จริงของการไหลของก๊าซ
นอกเหนือจากเซ็นเซอร์วัดอัตราการไหลของก๊าซคลื่นเสียงอุปกรณ์อื่น ๆ ยังใช้ไดอะแฟรมในท่อที่ตอบสนองต่อแรงดันและผลิตพัลส์ที่ป้อนเข้าคอมพิวเตอร์ไหลสำหรับการคำนวณปริมาณ เซ็นเซอร์การไหลของก๊าซหมุนและกังหันใช้การเคลื่อนที่เชิงกลของใบพัดหมุนและใบพัดกังหันเพื่อกำหนดปริมาณการไหล เซ็นเซอร์การไหลของก๊าซเครื่องวัดปริมาณอากาศใช้พื้นที่ที่แคบกว่าของท่อเพื่อสร้างค่าความดันซึ่งเปรียบเทียบกับความดันในเส้นผ่านศูนย์กลางของท่อมาตรฐาน ในขณะที่เซ็นเซอร์การไหลของแก๊สในปากถือว่ามีความแม่นยำน้อยกว่าเซ็นเซอร์อื่น ๆ แต่ก็มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเนื่องจากไม่มีชิ้นส่วนเคลื่อนไหวที่สามารถล้มเหลวได้
