เซ็นเซอร์ piezoresistive เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ประโยชน์จากการเปลี่ยนแปลงความต้านทานของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์บางอย่างเมื่ออยู่ภายใต้ความเครียดทางกลเพื่อให้เกิดการกระทำอิเล็กทรอนิกส์ ปรากฏการณ์ piezoresistive นี้ขึ้นอยู่กับวัสดุเหล่านี้มีแนวโน้มที่จะได้รับการเปลี่ยนแปลงในลักษณะความต้านทานแฝงของพวกเขาเมื่องอโดยการสัมผัสกับแรงกดดันหรือความเครียด สิ่งนี้ทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงที่สอดคล้องกันในกระแสไฟฟ้าใด ๆ ที่ผ่านอุปกรณ์ซึ่งแปลเป็นการวัดหรือการอ่านค่า วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่ใช้กันทั่วไปในอุปกรณ์ piezoresistive มักจะเป็นครอบครัวโลหะและซิลิโคนขั้นพื้นฐานเดียวกันที่ใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ส่วนใหญ่ ส่วนประกอบเหล่านี้มีคุณสมบัติความไวที่หลากหลายเพื่อให้เหมาะกับความต้องการของอุตสาหกรรมที่หลากหลาย
เมื่อวัสดุสารกึ่งตัวนำบางชนิดเผชิญกับความเครียดทางกลความต้านทานหรือความสามารถพื้นฐานในการต่อต้านการไหลของกระแสไฟฟ้าการเปลี่ยนแปลง การเปลี่ยนแปลงในลักษณะของตัวต้านทานวัสดุเห็นได้ชัดว่าการเปลี่ยนแปลงค่าความต้านทานที่เฉพาะเจาะจง สิ่งนี้ส่งผลให้เกิดกระแสเพิ่มขึ้นหรือลดลงของกระแสไฟฟ้าที่ไหลผ่านอุปกรณ์ซึ่งใช้เพื่อระบุหรือวัดความเครียดที่เกี่ยวข้อง piezoresistive effect ถูกสร้างขึ้นเพื่อสร้างอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อการโก่งตัวช่วงที่ใช้ในการบันทึกและวัดความเครียดที่กระตุ้นให้เกิดแรงเช่นแรงเร่งและแรง
โดยทั่วไปแล้วเซนเซอร์ชนิดนี้จะถูกสร้างขึ้นจากสารกึ่งตัวนำเช่นเจอร์เมเนียม, ซิลิโคนคริสตัลไลน์, ซิลิกอนอสัณฐานและซิลิโคนผลึกเดี่ยว เซ็นเซอร์ทั่วไปประกอบด้วยไดอะแฟรมเซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อแรงกดที่มีขั้วสัมผัส n + และ p + หลายตัวติดอยู่ กระแสไฟฟ้าจะถูกส่งผ่านเวเฟอร์ในอัตราที่ขึ้นอยู่กับความต้านทานของมัน การถ่ายโอนและการอ่านค่าผลลัพธ์ปัจจุบันนี้จะแตกต่างกันไปตามการเปลี่ยนแปลงความต้านทานในส่วนประกอบเมื่อไดอะแฟรมสัมผัสกับความดัน เซ็นเซอร์เหล่านี้มีความซับซ้อนตั้งแต่ Piezoresistor ธรรมดาที่มีช่วง จำกัด และความเสถียรของอุณหภูมิจนถึง Piezo-FET ที่มีความเสถียรสูงและแม่นยำ
เซ็นเซอร์ piezoresistive ใช้ในการใช้งานที่หลากหลายที่เกี่ยวข้องกับการวัดความเครียดทางกล อุตสาหกรรมยานยนต์จ้างพวกเขาเป็นเซ็นเซอร์สูญญากาศและแรงดันหรือเพื่อแสดงระดับน้ำมันและก๊าซ พวกเขายังใช้ในด้านการแพทย์ในอุปกรณ์ต่าง ๆ เช่นอุปกรณ์วัดความดันโลหิต มาตรวัดความลึกที่ใช้โดยนักดำน้ำทะเลลึกยังใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ piezoresistive เพื่อสร้างการอ่านค่าความลึกที่แม่นยำ อุปกรณ์เหล่านี้ยังใช้ในเครื่องวัดความสูงของเครื่องบินและเครื่องมือวัดความกดอากาศ
เซ็นเซอร์ความดันขึ้นอยู่กับประเภทนี้มักจะใช้ในเครื่องมือวัดอิเล็กทรอนิกส์ซึ่งใช้วงจรและส่วนประกอบเช่นสะพานวีทสโตนและทรานซิสเตอร์สองขั้ว เครื่องมือวัดความเร่งที่ใช้ในการวัดตำแหน่งการวางแนวการเร่งความเร็วและแรงสั่นสะเทือนยังใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ piezoresistive เพื่อสร้างการอ่านค่าของพวกเขา เทคโนโลยีนี้ยังค้นพบทางเข้าสู่สภาพแวดล้อมภายในประเทศที่มีเครื่องล้างจานเครื่องดูดฝุ่นและผู้ผลิตเครื่องซักผ้าจำนวนมากที่ใช้พวกเขาในผลิตภัณฑ์ของตน
