ปฏิกิริยาการแกะสลักไอออนเป็นเทคโนโลยีชนิดหนึ่งที่ใช้ในการทำผ้าไมโครเพื่อกำจัดสารจากเวเฟอร์ เวเฟอร์เป็นแถบเซมิคอนดักเตอร์ขนาดเล็กที่ใช้ในการสร้าง microdevices และเทคโนโลยีการกัดไอออนแบบรีแอกทีฟทำให้มั่นใจได้ว่าพวกเขาจะไม่มีวัสดุที่อาจส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพ ขั้นตอนการทำไมโครฟิชชันนั้นดำเนินการด้วยอุปกรณ์ที่ออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อระบุสารที่จะกำจัดโดยไม่ทำให้สูญเสียความสมบูรณ์ของแผ่นเวเฟอร์
อุปกรณ์แกะสลักไอออนปฏิกิริยาทั่วไปทำจากห้องสุญญากาศรูปทรงกระบอกพร้อมตัวยึดที่แยกได้สำหรับแผ่นเวเฟอร์ที่ติดกับส่วนล่างของห้อง มีรูเล็ก ๆ ที่ด้านบนของเรือที่ปล่อยก๊าซ มีการใช้ก๊าซหลายประเภทขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของแต่ละเวเฟอร์
พลาสมาคู่แบบเหนี่ยวนำเป็นอีกโหมดหนึ่งของเทคโนโลยีนี้ ด้วยอุปกรณ์นี้พลาสมาถูกสร้างขึ้นโดยสนามแม่เหล็กที่มีความเชี่ยวชาญสูง ไม่ใช่เรื่องแปลกที่จะมีระดับความเข้มข้นของพลาสม่าในระดับสูงด้วยวิธีนี้
ปฏิกิริยาการแกะสลักไอออนไอออนเป็นสถานะของสสารที่มีปฏิกิริยาทางเคมีและถูกสร้างขึ้นโดยสนามแม่เหล็กไฟฟ้าคลื่นความถี่วิทยุ (RF) มาตรฐานมากขึ้น ไอออนภายในพลาสมามีพลังงานสูงผิดปกติ ไอออนเหล่านี้ตอบสนองต่อเศษซากบนแผ่นเวเฟอร์และทำงานเพื่อกำจัดข้อบกพร่องบนพื้นผิว
กระบวนการทางเคมีที่เกี่ยวข้องกับการเกิดปฏิกิริยาการแกะสลักไอออนเป็นกระบวนการที่มีหลายแง่มุม ขั้นแรกให้สนามแม่เหล็กไฟฟ้าจำนวนมากถูกส่งไปยังห้องเวเฟอร์ จากนั้นสนามจะแกว่งไปมาซึ่งทำให้โมเลกุลของก๊าซในเรือแตกตัวเป็นไอออนและกำจัดอิเล็กตรอนออก สิ่งนี้ส่งผลให้เกิดการสร้างพลาสมา
การแกะสลักด้วยไอออนปฏิกิริยาเป็นประเภทหนึ่งของการกำจัดชิ้นงานขนาดเล็กที่เรียกว่าการแกะสลักแบบแห้ง มันไม่ใช้ของเหลวในกระบวนการกำจัดซึ่งแตกต่างจากการกัดแบบเปียกซึ่งใช้กรดและสารเคมีต่าง ๆ เพื่อให้ได้สีเดียวกัน เนื่องจากการกัดแบบเปียกทำให้เกิดการตัดแผ่นเวเฟอร์และขยะพิษจำนวนมากการแกะสลักแบบแห้งกลายเป็นวิธีกำจัดสารเคมีที่นิยมใช้มากขึ้น
หนึ่งในข้อเสียเปรียบที่สำคัญของการแกะสลักไอออนแบบปฏิกิริยาคือราคา เมื่อเปรียบเทียบกับเทคนิคการกัดแบบเปียกมันมีราคาแพงกว่ามากเนื่องจากอุปกรณ์พิเศษที่จำเป็น กระบวนการแกะสลักแบบแห้งโดยทั่วไปนั้นมีประสิทธิภาพมากกว่าในการเข้าถึงพื้นที่ที่มีความซับซ้อนของเวเฟอร์ เป็นเรื่องสำคัญที่ต้องจำไว้ว่างานบางอย่างไม่ต้องการรายละเอียดในนาทีของการแกะสลักในรูปแบบนี้และขั้นตอนการแกะสลักแบบเปียกอาจทำให้งานสำเร็จได้อย่างมีประสิทธิภาพ
