กระบวนการฟิล์มบางสามารถเกี่ยวข้องกับกระบวนการทางเคมีหรือทางกายภาพที่แตกต่างกัน เทคนิคการแปรรูปฟิล์มบางที่พบมากที่สุดคือการใช้สารเคมีของเหลวหรือก๊าซวิธีการระเหยหรือกระบวนการสปัตเตอร์ การรวมกันของเทคนิคเหล่านี้เป็นเรื่องธรรมดาในกระบวนการฟิล์มบางซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมคุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายได้มากขึ้น กระบวนการฟิล์มบางสามารถเป็นทางกายภาพหรือทางเคมีในธรรมชาติ
สารเคมีไม่ว่าจะเป็นในรูปของเหลวหรือก๊าซสามารถใช้สร้างฟิล์มบาง ๆ ได้ ยกตัวอย่างเช่นการสะสมไอสารเคมีทำให้เกิดสารเคมีที่สลายตัวหรือทำปฏิกิริยากับวัสดุ มักจะมีผลพลอยได้ที่เป็นอันตรายหรือระเหยได้ในระหว่างกระบวนการนี้ดังนั้นห้องปฏิบัติการจะต้องติดตั้งเพื่อกำจัดสารเคมีที่เป็นผลลัพธ์ การให้ความร้อนกับสารตั้งต้นอาจช่วยเพิ่มการเติบโตของฟิล์มบางในระหว่างการสะสมไอสารเคมี
การระเหยเป็นกระบวนการฟิล์มบางที่พบได้ทั่วไป ในการระเหยวัสดุเป้าหมายจะถูกทำให้ร้อนจนกว่าจะระเหยหรือระเหยออก เมื่อสารนั้นเป็นแก๊สมันจะถูกปล่อยสู่ห้องที่มีสารตั้งต้นซึ่งฟิล์มบาง ๆ จะเกิดขึ้น สารดังกล่าวกระทบพื้นผิวและเกิดเป็นแผ่นฟิล์มบาง ๆ
มีเครื่องจักรต่าง ๆ มากมายที่สามารถใช้ในการระเหยวัสดุเป้าหมาย เครื่องเหล่านี้สามารถให้ความร้อนกับวัสดุเป้าหมายบนขดลวดความร้อนจานหรือในห้องอุ่น สารสามารถระเหยได้หากถูกลำแสงอิเล็กตรอนหรือโฟตอนที่มีความเข้มสูงเช่นเลเซอร์ที่ถูกปล่อยออกมา
กระบวนการสปัตเตอร์ (sputtering) หรือที่เรียกว่าสปัตเตอร์ทับถมหรือแมกนีตรอนสปัตติ้ง (reactive magnetron sputtering) เป็นกระบวนการฟิล์มบางที่ใช้กันทั่วไป ในระหว่างกระบวนการนี้วัสดุพิมพ์จะถูกวางไว้ในห้องสุญญากาศในเครื่องพิเศษ อากาศจะถูกดูดออกจากห้องและวัสดุเป้าหมายจะถูกปล่อยออกสู่ห้องในรูปแบบของก๊าซ แม่เหล็กที่แข็งแกร่งสร้างประจุที่ทำให้วัสดุเป้าหมายแตกตัวเป็นไอออนและสะสมบนพื้นผิว การย้ายวัสดุพิมพ์ไปมาระหว่างกระบวนการนี้ทำให้แน่ใจได้ว่าฟิล์มบางถูกกระจายอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิว
กระบวนการฟิล์มแบบบางสร้างฟิล์มบาง ๆ ขององค์ประกอบหรือโมเลกุลต่าง ๆ ที่มีความหนาระหว่างสองสามถึงร้อยอะตอม ฟิล์มบางมีประโยชน์หลายอย่างและเป็นส่วนประกอบทั่วไปในคอมพิวเตอร์อุปกรณ์ออพติคอลและเป็นฟิลเตอร์สีสำหรับกล้องและกล้องโทรทรรศน์ ฟิล์มบางทำจากไทเทเนียมอลูมิเนียมทองเงินและโลหะผสมของโลหะเหล่านี้ วัสดุพิมพ์ทั่วไป ได้แก่ โลหะพลาสติกแก้วและเซรามิก
