การสะสมฟิล์มบางเป็นเทคนิคที่ใช้ในอุตสาหกรรมเพื่อใช้การเคลือบบาง ๆ กับชิ้นส่วนการออกแบบเฉพาะที่ทำจากวัสดุเป้าหมายและใช้การเคลือบผิวด้วยคุณสมบัติบางอย่าง เคลือบฟิล์มบางถูกนำมาใช้เพื่อเปลี่ยนคุณสมบัติทางแสงของแก้ว, คุณสมบัติการกัดกร่อนของโลหะและคุณสมบัติทางไฟฟ้าของเซมิคอนดักเตอร์ มีการใช้เทคนิคการสะสมหลายครั้งโดยทั่วไปจะเพิ่มอะตอมหรือโมเลกุลทีละชั้นเพื่อเพิ่มความหลากหลายของวัสดุที่ขาดคุณสมบัติพื้นผิวที่จำเป็นซึ่งการเคลือบบาง ๆ การออกแบบใด ๆ ที่ต้องการปริมาณและน้ำหนักขั้นต่ำของการเคลือบจะได้ประโยชน์จากการสะสมฟิล์มบาง ๆ ซึ่งจะทำให้วัสดุเป้าหมายสัมผัสกับสภาพแวดล้อมที่มีพลังงานของเหลวก๊าซหรือพลาสมา
การเคลือบโลหะดิบครั้งแรกถูกนำมาใช้ในสหัสวรรษแรกเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติการสะท้อนแสงของกระจกสำหรับกระจก 1600s ได้เห็นการพัฒนาเทคนิคการเคลือบผิวที่ละเอียดยิ่งขึ้นโดยช่างทำแก้วของเวนิส ไม่จนกระทั่งปี 1800 มีวิธีการที่แม่นยำในการใช้การเคลือบแบบบางเช่นการชุบด้วยไฟฟ้าและการสะสมสูญญากาศ
การชุบด้วยไฟฟ้าเป็นรูปแบบหนึ่งของการสะสมทางเคมีซึ่งส่วนที่จะเคลือบติดอยู่กับขั้วไฟฟ้าและจมอยู่ในสารละลายตัวนำไฟฟ้าของไอออนโลหะ เนื่องจากกระแสไฟฟ้าไหลผ่านสารละลายไอออนจะถูกดึงไปยังพื้นผิวของชิ้นส่วนเพื่อสร้างชั้นโลหะบาง ๆ อย่างช้าๆ สารละลายกึ่งโซมิดเรียกว่าโซลเจลเป็นวิธีการสะสมทางเคมีของฟิล์มบาง ตราบใดที่อนุภาคเคลือบมีขนาดเล็กพอเพียงพวกมันจะยังคงอยู่ในเจลแขวนลอยนานพอที่จะจัดเป็นชั้นและให้การเคลือบที่สม่ำเสมอเมื่อเศษของเหลวออกในช่วงการอบ
Vapor Deposition เป็นเทคนิคในการสร้างการสะสมฟิล์มบาง ๆ ซึ่งส่วนหนึ่งถูกเคลือบในก๊าซหรือพลาสมาที่มีพลังงานซึ่งมักจะอยู่ในสุญญากาศบางส่วน ในห้องสุญญากาศอะตอมและโมเลกุลจะกระจายตัวสม่ำเสมอและสร้างการเคลือบที่มีความบริสุทธิ์และความหนาสม่ำเสมอ ในทางตรงกันข้ามเมื่อมีการสะสมไอสารเคมีชิ้นส่วนจะถูกวางไว้ในห้องปฏิกิริยาที่เคลือบด้วยก๊าซในรูปแบบ ก๊าซจะทำปฏิกิริยากับวัสดุเป้าหมายเพื่อสร้างความหนาของสีที่ต้องการ ในการสะสมพลาสม่าก๊าซเคลือบจะถูกทำให้ร้อนขึ้นในรูปแบบไอออนิกซึ่งจะทำปฏิกิริยากับพื้นผิวอะตอมของชิ้นส่วนซึ่งโดยทั่วไปจะอยู่ที่แรงดันสูง
ในการทับถมของสปัตเตอร์แหล่งที่มาของวัสดุเคลือบบริสุทธิ์ในรูปแบบของแข็งนั้นได้รับพลังงานจากความร้อนหรือการทิ้งอิเล็กตรอน อะตอมของแหล่งกำเนิดของแข็งบางตัวหลุดออกมาและแขวนอยู่รอบ ๆ ส่วนของพื้นผิวในก๊าซเฉื่อยเช่นอาร์กอน การสะสมฟิล์มบางชนิดนี้มีประโยชน์ในการรับชมคุณสมบัติที่ดีในชิ้นส่วนเล็ก ๆ ที่เคลือบด้วยสปัตเตอร์ในทองคำและสังเกตผ่านกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน ในการเคลือบส่วนหนึ่งเพื่อการศึกษาในภายหลังอะตอมทองคำถูกขับออกจากแหล่งของแข็งเหนือส่วนและตกลงบนพื้นผิวผ่านห้องที่เต็มไปด้วยก๊าซอาร์กอน
การประยุกต์ใช้การสะสมฟิล์มบางมีความหลากหลายและมีการขยายตัว การเคลือบแบบออพติคอลบนเลนส์และแผ่นกระจกสามารถปรับปรุงคุณสมบัติของการส่งการหักเหและการสะท้อนการผลิตตัวกรองรังสีอัลตราไวโอเลต (UV) ในแว่นตาใบสั่งยาและกระจกป้องกันแสงสะท้อนสำหรับภาพถ่ายกรอบ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ใช้การเคลือบแบบบางเพื่อให้สื่อกระแสไฟฟ้าที่ดีขึ้นหรือฉนวนกันความร้อนสำหรับวัสดุเช่นเวเฟอร์ซิลิกอน ฟิล์มเซรามิกบาง ๆ มีคุณสมบัติต้านการกัดกร่อนแข็งและเป็นฉนวน แม้ว่าจะเปราะที่อุณหภูมิต่ำพวกมันถูกนำมาใช้อย่างประสบความสำเร็จในการเซ็นเซอร์วงจรรวมและการออกแบบที่ซับซ้อนมากขึ้น ฟิล์มบางสามารถนำไปฝากไว้ในโครงสร้าง“ ฉลาด” ขนาดเล็กพิเศษเช่นแบตเตอรี่เซลล์แสงอาทิตย์ระบบส่งยาและแม้แต่คอมพิวเตอร์ควอนตัม
