โดยทั่วไปแอคชูเอเตอร์จะใช้แหล่งพลังงานเพื่อเคลื่อนย้ายหรือควบคุมส่วนประกอบทางกล มักพบในมอเตอร์และเครื่องจักรต่าง ๆ อุปกรณ์เครื่องจักรกลหลายชนิดมีขนาดเล็กลงในช่วงหลายปีที่ผ่านมา แต่โดยทั่วไปกระบวนการนี้ต้องการให้แต่ละองค์ประกอบมีขนาดเล็กลงเช่นกัน การย่อขนาดในศตวรรษที่ 21 ได้พัฒนาไปจนถึงจุดที่ไมโครแอคเตอร์และส่วนอื่น ๆ มีขนาดเล็กมากจนต้องใช้กล้องจุลทรรศน์ที่ทรงพลังในการมองเห็น กระบวนการทางอุตสาหกรรมเช่นการพิมพ์หินและการตัดเฉือนขนาดเล็กใช้ในการทำ microactuator และมีหลายประเภทที่สามารถทำเช่นกัน
microactuator ไฟฟ้าสถิตเป็นหนึ่งในความหลากหลายทั่วไป แต่นักวิทยาศาสตร์ยังสามารถสร้างพันธุ์แม่เหล็กไฟฟ้าที่สามารถผลิตพลังงานมากขึ้นเพื่อรวมอุปกรณ์เช่นมอเตอร์ บางครั้งพวกเขาก็ยากที่จะทำ แต่ประดิษฐ์ด้วยวิธีที่มักจะใช้สำหรับการทำวงจรรวม มอเตอร์มีขนาดเล็กเพียงประมาณ 0.04 นิ้ว (1 มม.) ข้ามถูกสร้างขึ้นและมักจะถูกนำมาใช้โดยนักวิจัยเพื่อแทรกสายสวนเล็ก ๆ เข้าไปในเซลล์ชีวภาพ
นอกจากนี้ยังมี microactuator piezoelectric ด้วยวัสดุคอมโพสิตที่ตอบสนองคล้ายกับผลึกซึ่งเมื่อผลักดันให้สร้างแรงดันไฟฟ้า ฟิล์มบางสามารถถูกฝากลงบนซิลิกอนที่สามารถสร้างการเคลื่อนที่ในระยะทางที่สั้นมาก บางครั้งพวกมันถูกใช้ในใบพัดขนาดเล็กจิ๋ว มักใช้ microactuators ล้ำเสียงในมอเตอร์ขนาดเล็กที่สร้างขึ้นในอุปกรณ์ piezoelectric เหล่านี้สามารถรวมเข้ากับกลไกโฟกัสอัตโนมัติของกล้องขนาดเล็กเช่น
ส่วนประกอบเชิงกลที่เคลื่อนที่ได้สามารถสร้างขึ้นได้ในขนาดเล็ก แต่โดยทั่วไปแล้ว microactuator จะทำจากวัสดุที่โค้งบนพื้นฐานของประจุไฟฟ้า โดยทั่วไปแล้วการเคลื่อนที่ด้วยกล้องจุลทรรศน์ในระดับและแรงเล็กน้อย มอเตอร์แบบหมุนได้และไดรฟ์การเคลื่อนที่เชิงเส้นได้รับการพัฒนาบนพื้นฐานของหลักการนี้
Microactuators สามารถใช้สร้างกระจกเล็ก ๆ สำหรับจอแสดงผลและโปรเจคเตอร์ รีเลย์ขนาดเล็กในปัจจุบันและกลไกขนาดเล็กเพื่อควบคุมฮาร์ดไดรฟ์มักจะใช้อุปกรณ์ขนาดเล็กดังกล่าว พวกเขามักจะเรียกว่า Micro-Electromechanical Systems (MEMS) หมวดหมู่ซึ่งรวมถึงชิ้นส่วนเคลื่อนไหวขนาดเล็กหลายชนิด
การผลิต microactuators สามารถทำได้โดยการแกะสลักชิ้นส่วนเป็นซิลิโคน การพิมพ์หินมักใช้ทำวงจร แสงสารเคมีและชั้นที่ประกอบด้วยชิ้นส่วนที่จะเพิ่มมักจะรวมกันในกระบวนการนี้ ผลิตภัณฑ์ที่เสร็จแล้วมักจะผลิตเป็นชั้นในขณะที่การตัดเฉือนขนาดเล็กมักจะเกี่ยวข้องกับเลเซอร์และกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดเพื่อวางอะตอมและเซลล์ของแต่ละบุคคล กระบวนการทั้งสองสามารถใช้เพื่อย้ายชิ้นส่วน microactuator และสร้างอุปกรณ์ขนาดจิ๋ว
