excimer คือการรวมกันชั่วคราวของสองอะตอมที่เรียกว่า dimer ตื่นเต้นซึ่งมีอย่างน้อยหนึ่งอะตอมอยู่ในสถานะที่ตื่นเต้นทางอิเล็กทรอนิกส์ ภายใต้สภาวะปกติอะตอมจะมีอิเล็กตรอนสองตัวต่อระดับพลังงานที่อยู่รอบ ๆ โปรตอนโดยที่อิเล็กตรอนหมุนไปในทิศทางตรงกันข้าม เมื่ออะตอมดูดซับพลังงานจากแสงอิเล็กตรอนหนึ่งตัวอาจเคลื่อนที่ไปยังวงโคจรของพลังงานที่สูงขึ้นทำให้เกิดอิเล็กตรอนที่ไม่มีการจับคู่ อะตอมรวมเข้ากับอะตอมอื่นเพื่อสร้างตัวหรี่แสงได้เฉพาะในสถานการณ์ที่ตื่นเต้นเหล่านี้และเมื่อตัวหรี่ปล่อยพลังงานของมันและอิเล็กตรอนกลับสู่สภาพพื้นดินของมัน dimer จะแยกตัวออกจากกัน โดยปกติแล้ว excimer อาจใช้เวลาเพียงไม่กี่นาโนวินาที
Excimer lasers เป็นเลเซอร์แสงอัลตราไวโอเลตที่ใช้สำหรับการผ่าตัดตา, การนวดด้วยเลเซอร์และการสร้างชิปคอมพิวเตอร์ ด้วยความดันและไฟฟ้าเลเซอร์จะสร้างแสงสลัวโดยการส่งกระแสไฟฟ้าผ่านการผสมของก๊าซปฏิกิริยาเช่นฟลูออรีนหรือคลอรีนและก๊าซเฉื่อยเช่นคริปทอนหรืออาร์กอน โมเลกุลของก๊าซเฉื่อยจะจับกับปฏิกิริยาที่เกิดขึ้นชั่วคราวทำให้เกิดสารประกอบที่น่าตื่นเต้นซึ่งปล่อยพลังงานออกมาเองตามธรรมชาติหรือโดยการกระตุ้น เมื่อโมเลกุลปล่อยพลังงานและแยกตัวออกแสงเลเซอร์อัลตราไวโอเลต (UV) จะถูกปล่อยออกมา
แสงอุลตร้าไวโอเลตจะรบกวนการยึดเหนี่ยวของโมเลกุลในเนื้อเยื่อชีวภาพหรือวัสดุอินทรีย์ มันมีระดับการเจาะที่ต่ำและเนื้อเยื่อที่ได้รับผลกระทบจะสลายตัวไปในอากาศแทนที่จะเผาไหม้ ด้วยเหตุผลเหล่านี้มีการใช้ excimer lasers เพื่อปรับรูปร่างหรือกำจัดเนื้อเยื่อผิวบนผิวตา เลเซอร์ช่วยคั่นระหว่างผิวหนัง keratomilieusis (LASIK) เป็นการประยุกต์ใช้แสงยูวีที่ได้มาจาก excimer เพื่อเนื้อเยื่อที่อยู่ใต้พนังด้านนอกของกระจกตาเพื่อปรับความโค้งของกระจกตา กระจกตารูปร่างแบนราบรักษาสายตาสั้นและกระจกตาชันทำให้มองการณ์ไกล นอกจากนี้ยังสามารถกำจัดรูปร่างที่ผิดปกติของกระจกตาที่มีรูปร่างผิดปกติได้
นอกเหนือจากการผ่าตัดตาเพื่อรักษาปัญหาการโฟกัสเลเซอร์ excimer มีโปรแกรมประยุกต์ที่เกี่ยวข้องกับสุขภาพอื่น ๆ เลเซอร์ Excimer ถูกนำมาใช้ในการผ่าตัดขยายหลอดเลือดเพื่อเปิดอุดตันในหลอดเลือดแดงที่อุดตัน แพทย์ผิวหนังได้ใช้สารซีนอนคลอไรด์ excimers เพื่อสลายโรคผิวหนังต่าง ๆ รวมทั้ง vitiligo และสะเก็ดเงิน จักษุแพทย์สามารถกำจัดรอยแผลเป็นที่กระจกตาได้อย่างแม่นยำด้วยเลเซอร์เอ็กซิมเมอร์
เลเซอร์แสงอัลตราไวโอเลตลึก (DUV) โดยใช้แสงเลเซอร์คริปทอนฟลูออรีนหรืออาร์กอน - ฟลูออรีนหรี่เปล่งแสงที่มีความยาวคลื่นจาก 193 ถึง 248 นาโนเมตร (7.8 X10-6 ถึง 9.8 X 10-6 นิ้ว) จากมุมมองทางอุตสาหกรรมผู้ผลิตอุปกรณ์ไมโครชิพใช้เลเซอร์ excimer ลึกเหล่านี้สำหรับการถ่ายภาพด้วยความละเอียดสูง สิ่งนี้เปิดใช้งานการจับข้อมูลในพื้นที่เพียงสิบนาโนเมตรและอนุญาตให้ผลิตชิปคอมพิวเตอร์ที่เล็กและหนาแน่นกว่าชิปที่ผลิตด้วยเทคโนโลยีเก่า ไมโครชิพมีประสบการณ์การลดขนาดอย่างค่อยเป็นค่อยไปจาก 0.5 ไมโครเมตร (2 X 10 -5 นิ้ว) ในปี 1990 เป็นประมาณ 43 นาโนเมตร (1.7 X 10 -6 นิ้ว) ในปี 2010 นอกจากนี้เลเซอร์ excimer ยังอนุญาตให้พลาสติกและโพลิเมอร์ถูกตัดแบบพิเศษ ความแม่นยำ


