Micromachining เป็นกลุ่มคืออะไร?

การทำ micromachining ขนาดใหญ่เป็นวิธีการทำชิ้นส่วนเครื่องจักรหรืออุปกรณ์ไฟฟ้าขนาดเล็กมาก โดยทั่วไปกระบวนการนี้ใช้เวเฟอร์ซิลิคอน แต่บางครั้งก็ใช้วัสดุพลาสติกหรือเซรามิกด้วยเช่นกัน micromachining จำนวนมากเริ่มต้นด้วยชิ้นงานที่เป็นของแข็งและนำวัสดุออกจนกว่าจะถึงรูปร่างสุดท้ายซึ่งตรงข้ามกับการทำไมโครเมตรผิวซึ่งสร้างชั้นชิ้นโดยชั้น วิธีการที่ใช้กันทั่วไปมากที่สุดในการทำ micromachining จำนวนมากคือการปิดบังแบบเลือกและตัวทำละลายสารเคมีแบบเปียก ทางเลือกที่ใหม่กว่าสำหรับวิธีนี้คือการแกะสลักแบบแห้งโดยใช้พลาสมาหรือระบบเลเซอร์เพื่อกำจัดวัสดุที่ไม่ต้องการ โดยทั่วไปแล้วจะมีความแม่นยำมากกว่าการแกะสลักแบบเปียก แต่ก็มีราคาแพงกว่าเช่นกัน

Micromachining เป็นกระบวนการของการทำชิ้นส่วนเล็ก ๆ ส่วนประกอบเหล่านี้อาจเป็นอะไรก็ได้ตั้งแต่ไดโอดไปจนถึงเกียร์แบบฟันซึ่งมีขนาดเท่ากับปลายปากกา มีสองวิธีที่สำคัญในการทำกระบวนการนี้ การทำไมโครมิเตอร์แบบพื้นผิวจะใช้แต่ละชั้นของซิลิคอนเวเฟอร์เพื่อสร้างชิ้นส่วนที่อยู่ด้านบนของชั้นที่มีอยู่ ในขณะนี้เป็นกระบวนการที่สำคัญมากมันเป็นเรื่องยากที่จะทำให้ชิ้นส่วนที่เป็นอิสระและไม่ซ้ำกันทั้งหมด

เพื่อที่จะทำให้ชิ้นส่วนประเภทเหล่านั้นผู้ผลิตจะใช้ micromachining จำนวนมาก ในหลาย ๆ วิธีนี้คล้ายกับการแกะสลักรูปปั้นหินอ่อนออกมาในขนาดที่เล็กกว่ามาก เวเฟอร์ซิลิคอนจะถูกประมวลผลเพื่อลบส่วนที่ไม่ต้องการในชิ้นสุดท้าย การประมวลผลจำนวนมากจะไปจากใหญ่ไปเล็กในขณะที่วิธีพื้นผิวไปจากเล็กไปใหญ่

micromachining จำนวนมากส่วนใหญ่ใช้ซิลิคอน วัสดุมีราคาถูกมากเพราะมันทำขึ้นเกือบหนึ่งในสี่ของเปลือกโลก นอกจากนี้มันยังมีโครงสร้างผลึกที่ละเอียดมากซึ่งสามารถสลายเป็นชั้นบางกว่าเส้นผมของมนุษย์ สิ่งนี้ช่วยให้วัสดุสามารถทำงานในระดับจุลภาคเช่นเดียวกับในระดับมหภาค

วิธีการที่ใช้กันมากที่สุดของการทำ micromachining จำนวนมากเรียกว่าการกัดทางเคมีแบบเปียก ขั้นแรกให้ชิ้นงานถูกปกคลุมด้วยวัสดุที่จะป้องกันจากตัวทำละลายที่เลือก จากนั้นเลือกหน้ากากป้องกันออกเพื่อเลือกพื้นที่ของชิ้นส่วนที่หลุดออกมา ชิ้นงานสัมผัสกับตัวทำละลายซึ่งจะละลายพื้นที่ที่ไม่มีการป้องกันใด ๆ และปล่อยให้ส่วนที่เหลือครบถ้วน หลังจากนั้นวัสดุปิดบังที่เหลือจะถูกลบออก

วิธีการที่ใหม่กว่าสำหรับการทำไมโครไซต์จำนวนมากเรียกว่าการกัดแบบแห้ง สิ่งนี้ใช้อุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงซึ่งมักเป็นเลเซอร์ในการระเหยสารที่ไม่ต้องการ เมื่อเปรียบเทียบกับกระบวนการแบบเปียกนี่เป็นขั้นตอนที่น้อยกว่าและขาดตัวทำละลายที่เป็นอันตรายทั้งหมด เหตุผลหลักที่กระบวนการนี้ไม่ได้รับความนิยมมากขึ้นคือความแปลกใหม่ของมันเมื่อเทียบกับวิธีเปียกและค่าใช้จ่ายในการซื้ออุปกรณ์