การสอบเทียบความชื้นเกี่ยวข้องกับการตรวจสอบความถูกต้องของและทำการปรับที่เหมาะสมกับเซ็นเซอร์ที่วัดความชื้นในอากาศ การวัดดังกล่าวมีความสำคัญอย่างยิ่งในห้องปฏิบัติการและกระบวนการผลิตจำนวนมาก การสอบเทียบที่ถูกต้องสำหรับความชื้นสัมพัทธ์ (RH) ปริมาณของความชื้นในอากาศเมื่อเทียบกับค่าสูงสุดที่สามารถเก็บได้ที่อุณหภูมิเฉพาะนั้นยากมาก การเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยในอุณหภูมิโดยรอบสามารถเปลี่ยนแปลงค่าได้แม้ว่าความชื้นจะยังคงเหมือนเดิม การสอบเทียบความชื้นที่เหมาะสมของอุปกรณ์ตรวจสอบช่วยให้มั่นใจว่าสภาพแวดล้อมจะยังคงอยู่ภายในข้อกำหนดที่จำเป็นสำหรับระยะเวลาที่เชื่อถือได้
Hygrometers เป็นอุปกรณ์ที่ใช้วัดความชื้น ส่วนใหญ่วัดปริมาณเช่นอุณหภูมิความดันบรรยากาศหรือการเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่มีความไวต่อการเปลี่ยนแปลงของความชื้น โดยทั่วไปการวัดเหล่านี้แสดงค่าความชื้นโดยเปรียบเทียบกับค่าอ้างอิงมาตรฐาน ปัญหาหนึ่งในการสอบเทียบคือการสร้างความชื้นสัมพัทธ์ที่แม่นยำและเสถียรนอกห้องปฏิบัติการพิเศษ
วิธีการสอบเทียบความชื้นที่สะดวกและใช้กันอย่างแพร่หลายนั้นเกี่ยวข้องกับสารละลายเกลืออิ่มตัว ข้อมูลได้รับการรวบรวมเกี่ยวกับคุณสมบัติของสารละลายเกลือ 28 ชนิดที่ครอบคลุมค่า RH ทั้งหมด ในขั้นตอนนี้ด้านล่างของกล่องสุญญากาศถูกปกคลุมด้วยสารละลายเกลืออิ่มตัวที่สร้างความชื้นสัมพัทธ์ในพื้นที่ด้านบนด้วยความแม่นยำที่สมเหตุสมผล ค่า RH ขึ้นอยู่กับเกลือที่ใช้และส่วนใหญ่ไม่ขึ้นกับอุณหภูมิ อย่างไรก็ตามต้องมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายในกล่อง
สารละลายเกลือที่ไม่อิ่มตัวสามารถใช้สร้างความชื้นสัมพัทธ์ได้ ในกรณีนี้ค่า RH ที่ผลิตขึ้นอยู่กับการจัดการอย่างระมัดระวังของความเข้มข้นของเกลือและอุณหภูมิโดยรอบ เช่นเดียวกับวิธีการข้างต้นอุปกรณ์การวัดได้รับการสนับสนุนในพื้นที่ด้านบนโซลูชันสำหรับการสอบเทียบความชื้น เมื่อสร้างค่า RH ที่ต้องการแล้วสามารถอ่านค่าของอุปกรณ์และทำการปรับค่าได้
ในอีกวิธีหนึ่งกระแสของอากาศแห้งที่ 0% RH จะถูกส่งไปยังกระแสสองทิศทาง หนึ่งคืออิ่มตัวด้วยไอน้ำสูงถึง 100% RH ความชื้นสัมพัทธ์ในห้องวัดนั้นสามารถปรับได้โดยการผสมทั้งสองกระแสกับตัวควบคุมมวลไหล (MFC) ซึ่งเป็นเครื่องมือที่ใช้ในการควบคุมการไหลของก๊าซ ในขณะที่วิธีนี้ช่วยให้การสอบเทียบความชื้นในระดับต่างๆนั้นขึ้นอยู่กับการสอบเทียบที่เหมาะสมของ MFC
การดำเนินการตามวิธีการเกลืออิ่มตัวมักจะขายในรูปแบบชุดให้กับ บริษัท ที่ไม่มีทรัพยากรในการตั้งค่าห้องปฏิบัติการในบ้านหรือสัญญากับ บริษัท สอบเทียบเครื่องมือ อย่างไรก็ตาม บริษัท ยาผู้ผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์และห้องปฏิบัติการวิจัยขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อมที่มีการควบคุมอย่างใกล้ชิด ในไซต์เหล่านี้การสอบเทียบความชื้นระดับมืออาชีพเป็นขั้นตอนมาตรฐานและดำเนินการอย่างสม่ำเสมอ
