คำว่าการสะสมสูญญากาศอธิบายกลุ่มของกระบวนการที่มีวัตถุประสงค์เพื่อวางอนุภาคของแต่ละบุคคลโดยเฉพาะอะตอมและโมเลกุลบนพื้นผิว กระบวนการดังกล่าวดำเนินการในสุญญากาศเพื่อป้องกันการรบกวนหรือปฏิกิริยากับอนุภาคก๊าซเช่นออกซิเจนซึ่งสามารถทำปฏิกิริยาได้สูง ชั้นบาง ๆ ของสสารที่ใช้กับพื้นผิวเรียกว่าฟิล์มในขณะที่ชั้นหนาเรียกว่าการเคลือบ การสะสมสูญญากาศสามารถตอบสนองวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันมากมายเช่นการวางเลเยอร์นำไฟฟ้าไปยังพื้นผิวหรือป้องกันโลหะจากการกัดกร่อน กระบวนการนี้มักใช้กับชิ้นส่วนยานยนต์ต่างๆเพื่อวัตถุประสงค์ต่าง ๆ เช่นการป้องกันการเกิดสนิมและการกัดกร่อน
วิธีการที่ใช้มากที่สุดของการสะสมสูญญากาศเกี่ยวข้องกับการใช้ไอ บางครั้งสารที่จะสะสมบนพื้นผิวจะระเหยกลายเป็นไอ หลังจากนั้นจะควบแน่นเป็นชั้นบนพื้นผิว ในกรณีอื่น ๆ สารระเหยหรือสารทำปฏิกิริยากับพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มหรือการเคลือบที่ต้องการ ในบางกรณีปัจจัยอื่น ๆ เช่นอุณหภูมิหรือความหนาแน่นของไอจะต้องจัดการเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่ต้องการ ปัจจัยเหล่านี้มีผลต่อความหนาและการเกาะติดกันของชั้นดังนั้นจึงจำเป็นที่จะต้องควบคุมอย่างถูกต้อง
การสะสมไอทางกายภาพเป็นการสะสมสุญญากาศซึ่งมีเพียงกระบวนการทางกายภาพเท่านั้น ไม่มีปฏิกิริยาทางเคมี วิธีการสะสมไอน้ำทางกายภาพนั้นใช้เพื่อปกปิดพื้นผิวด้วยฟิล์มบาง ๆ สารระเหยกลายเป็นไอบนพื้นผิว วิธีหนึ่งดังกล่าวเรียกว่าการสะสมไอของลำแสงอิเล็กตรอน ในการสะสมไอระเหยทางกายภาพของลำแสงอิเล็กตรอนวัสดุที่นำไปฝากจะถูกทำให้ร้อนและระเหยด้วยลำอิเล็กตรอนก่อนที่จะควบแน่นบนพื้นผิวของการสะสม อีกวิธีที่ใช้กันทั่วไปของการสะสมทางกายภาพสูญญากาศคือการทับถมของสปัตเตอร์ซึ่งแก๊สหรือไอถูกขับออกมาจากแหล่งกำเนิดบางแหล่ง
การสะสมไอสารเคมีเป็นรูปแบบหนึ่งของการสะสมสูญญากาศซึ่งกระบวนการทางเคมีถูกนำมาใช้ในการผลิตฟิล์มหรือการเคลือบที่ต้องการ ก๊าซหรือไอระเหยทำปฏิกิริยากับพื้นผิวที่ต้องการเคลือบในสุญญากาศ สารเคมีที่แตกต่างกันจำนวนมากเช่นซิลิคอนไนไตรด์หรือโพลีซิลิคอนถูกใช้ในกระบวนการสะสมไอสารเคมีที่แตกต่างกัน
สูญญากาศเป็นส่วนสำคัญของการสะสมสูญญากาศ มันทำหน้าที่สำคัญหลายประการ การปรากฏตัวของสูญญากาศส่งผลให้มีความหนาแน่นต่ำของอนุภาคที่ไม่พึงประสงค์ดังนั้นอนุภาคที่มีวัตถุประสงค์เพื่อเคลือบพื้นผิวจะไม่ทำปฏิกิริยาหรือชนกับอนุภาคที่ปนเปื้อนใด ๆ สูญญากาศยังช่วยให้นักวิทยาศาสตร์สามารถควบคุมองค์ประกอบสูญญากาศของห้องสูญญากาศเพื่อให้การเคลือบขนาดที่เหมาะสมและสอดคล้องสามารถผลิตได้
