ฟังก์ชั่นที่หลากหลายสามารถทำได้โดยไมโครอิเล็กทรอนิกส์และการวัดที่สำคัญอย่างหนึ่งที่ทำโดยพวกมันคือการสั่นสะเทือน เซ็นเซอร์สั่นสะเทือนวัดสิ่งที่เรียกว่าการเคลื่อนที่แบบแกว่งซึ่งเป็นการเคลื่อนไหวที่ไปมาอย่างต่อเนื่อง สามารถระบุทิศทางได้โดยใช้ระบบพิกัดพร้อมแกนและสามารถวัดแรงที่สัมพันธ์กับแรงโน้มถ่วงได้เช่นกัน การวิเคราะห์การสั่นสะเทือนทำได้โดยการวัดการกระจัดและความเร็วเช่นเดียวกับความเร่งซึ่งส่วนใหญ่วิเคราะห์โดยเซ็นเซอร์ตรวจจับการสั่นสะเทือน ประเภทที่แตกต่างกัน ได้แก่ piezoelectric, piezoelectric อิเล็กทรอนิกส์รวม, piezoresistive, ความจุตัวแปรและเซ็นเซอร์เซอร์โว
เซ็นเซอร์สั่นสะเทือนมักจะเรียกว่าเครื่องวัดความเร่ง เครื่องเร่งความเร็วแบบ piezoelectric ทำงานกับพลังงานของแรงที่กระทำกับพวกมันดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องมีแหล่งพลังงานเพิ่มเติมในระบบ การกระจัดของประจุอิเล็กตรอนที่ด้านข้างของเซ็นเซอร์ใช้เพื่อสร้างการวัด เซ็นเซอร์ทั่วไปประเภทนี้รวมถึงการออกแบบแรงเฉือนซึ่งสร้างขึ้นเพื่อจัดการกับความแตกต่างของอุณหภูมิขนาดใหญ่และการออกแบบประเภทคานที่มักจะต้องการเพราะมันมักจะมีค่าใช้จ่ายต่ำ
เซ็นเซอร์ piezoelectric อิเล็กทรอนิกส์ที่สมบูรณ์รวมถึงเครื่องขยายเสียงขนาดเล็กของตัวเองดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องใช้สายเคเบิลพิเศษในผลิตภัณฑ์ piezoelectric สัญญาณอินพุตและเอาต์พุตส่งผ่านสายเคเบิลเส้นเดียวที่เชื่อมต่อกับเซ็นเซอร์และการออกแบบโดยรวมได้รับการปกป้องจากเสียงรบกวนทางไฟฟ้า อุปกรณ์นี้ยังสามารถรวมตัวกรองอิเล็กทรอนิกส์การป้องกันโอเวอร์โหลดไฟฟ้าและฟังก์ชั่นเสริมที่หลากหลาย
เซ็นเซอร์ piezoresistive มีการกำหนดค่าในการออกแบบแขนเดียวหรือหลายแขนเพื่อผลิตเอาต์พุตที่ซับซ้อนมากขึ้น มันใช้พลังงานจากแหล่งพลังงานภายนอกทำให้สามารถใช้สัญญาณเอาท์พุตในการตรวจสอบสภาพการสั่นสะเทือนที่เสถียรแทนที่จะเปลี่ยนทิศทางหรือแรง สำหรับสภาวะเร่งความเร็วสูงเซ็นเซอร์ความจุการสั่นสะเทือนแบบแปรผันมักรวมเวเฟอร์ซิลิโคนเข้ากับช่องว่างระหว่างเพื่อความทนทาน พวกเขาสามารถทนต่อการเร่งความเร็วได้สูงถึง 1,000 เท่าของระยะการทำงานที่กำหนดไว้
ซึ่งแตกต่างจากเซ็นเซอร์อื่น ๆ ซึ่งขึ้นอยู่กับการกำจัดของผลึกหรือองค์ประกอบอื่น ๆ ในการกำหนดค่าวงเปิด, เซอร์โวหรือแรงสมดุล, accelerometer ใช้การออกแบบวงปิด เซ็นเซอร์สั่นสะเทือนที่ขับเคลื่อนด้วยเซอร์โวมีความแม่นยำสูงกว่าและสามารถใช้ในระบบคำแนะนำเฉื่อย เซ็นเซอร์ทั่วไปอื่น ๆ สำหรับการวิเคราะห์การสั่นสะเทือน ได้แก่ เซ็นเซอร์ความใกล้ชิด เหล่านี้มักจะอาศัยอยู่ในเครื่องจักรเพื่อตรวจสอบการเคลื่อนไหวของชิ้นส่วนภายในโดยการวัดค่าการนำไฟฟ้า ในขณะที่สิ่งเหล่านี้ไม่ใช่แบบสัมผัสเซ็นเซอร์การสั่นสะเทือนอื่น ๆ พึ่งพาการสัมผัสเพื่อวัดการเคลื่อนที่หรือระยะทางได้อย่างแม่นยำ
