ความเค้นของฟิล์มบาง ๆ หมายถึงความไม่สมบูรณ์ของโครงสร้างที่ส่งผลให้เกิดการเสื่อมสภาพหรือความล้มเหลวของชั้นกล้องจุลทรรศน์ของวัสดุออปติคัลหรือสื่อนำไฟฟ้า ปัญหาใด ๆ ที่อาจเกิดขึ้นเมื่อฟิล์มถูกผลิตหรือนำไปใช้กับผลิตภัณฑ์อย่างไม่เหมาะสม ด้วยชั้นบางครั้งเพียงไม่กี่อะตอมหนาการโต้ตอบระหว่างวัสดุที่ไม่ได้วางแผนสามารถมีผลกระทบต่อประสิทธิภาพของภาพยนตร์ ในมุมมองของอิทธิพลมากมายเหล่านี้ความเครียดของฟิล์มบางชนิดที่สำคัญสามารถเกิดขึ้นได้ เหล่านี้รวมถึงความเครียด epitaxial ความเครียดความร้อนและความเครียดการเจริญเติบโตเช่นเดียวกับกระบวนการเสียรูปอื่น ๆ
การนำเทคโนโลยีฟิล์มบางมาใช้ท้าทายการพัฒนากระบวนการผลิตและการสะสมเพื่อรองรับผลิตภัณฑ์ที่หลากหลาย เทคโนโลยีในครัวเรือนและวิทยาศาสตร์ใช้ฟิล์มบางสำหรับการใช้งานที่มีความยาวคลื่นแสงจำนวนมากเช่นในอุปกรณ์ออปติคัลในเครื่องถ่ายเอกสารสแกนเนอร์และแผงเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง ผลิตภัณฑ์สามารถได้รับประโยชน์จากการปรับปรุงวัสดุฟิล์มบางเช่นความต้านทานต่อการขีดข่วนหรือแรงกระแทก ฟิล์มบาง ๆ จะควบคุมคุณสมบัติความยาวคลื่นและคุณสมบัตินำไฟฟ้าและขยายขีดความสามารถของเทคโนโลยีมากมาย ความท้าทายด้านการผลิตและการทับถมที่หลากหลายนำเสนอเป้าหมายที่เคลื่อนไหวได้สำหรับนวัตกรรมและการปรับแต่ง
ความเครียดจากฟิล์มบางเกิดจากปัญหาการสะสมกระบวนการความร้อนและเทคโนโลยีเลเซอร์ท่ามกลางสาเหตุอื่น ๆ โดยทั่วไปแล้วฟิล์มบางถูกผลิตขึ้นโดยใช้วิธีการที่มีลักษณะเฉพาะจุดแข็งและจุดอ่อนที่ไม่เหมือนใคร ฟิล์มสามารถร้าวหรือเป็นโมฆะและบางครั้งก็ยกขึ้นจากสื่อพื้นผิวของมันในขณะที่กระบวนการอื่นอาจรบกวนคุณสมบัติเช่นความต้านทานต่อความชื้นหรือการเกิดออกซิเดชัน
ความเค้นของฟิล์มบางแบบ Epitaxial เกิดขึ้นเมื่อผลึก lattices ในแผ่นฟิล์มเรียงกันเข้ากับวัสดุพิมพ์หรือวัสดุรองรับ ผลของความเค้นไม่เหมาะสมเมื่อภาพยนตร์และวัสดุกลายเป็นผลึกเดี่ยว ความเครียดจากความร้อนเกิดจากความแตกต่างของอุณหภูมิภายใต้อิทธิพลของการขยายความร้อน ความเครียดประเภทนี้มักเกิดขึ้นในอุปกรณ์ที่มีการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิหรือสุดขั้ว
การเติบโตของฟิล์มบางความเครียดหรือที่รู้จักกันว่าเป็นความเครียดที่แท้จริง, malforms ผ่านความไม่สอดคล้องกันในระหว่างกระบวนการสะสม ความเครียดมักเกิดขึ้นเมื่อความหนาของชั้นฟิล์มไม่สม่ำเสมอ สภาวะต่าง ๆ สามารถเกิดขึ้นได้จากการบีบอัดความตึงเครียดหรือความแตกต่างในการผ่อนคลายในการรวมตัวกันของผลึก
ความเค้นของฟิล์มบางประเภทอีกประเภทหนึ่งเรียกว่าความเค้นบนพื้นผิว มันเกิดขึ้นเป็นหน่วยของแรงต่อความยาวของหน่วยในระหว่างการสะสม ประเภทนี้ยืนตรงกันข้ามกับพลังงานพื้นผิวซึ่งเป็นสมดุลของอุณหภูมิหรือปฏิกิริยาทางเคมีบนพื้นที่หน่วยของพื้นผิว ขอบเขตของเมล็ดข้าวสามารถสร้างความเครียดเนื่องจากผลึกมีความยืดหยุ่น จำกัด ในการโต้ตอบ
เป็นผลมาจากความเค้นของฟิล์มบางผลกระทบโดยทั่วไปสามารถเปลี่ยนประสิทธิภาพของฟิล์มบางได้ทำให้เกิดความผิดปกติบนพื้นผิวของมัน จำเป็นอย่างยิ่งที่จะต้องเข้าใจและสร้างความแปรปรวนของความเครียดที่ต้องการภายในอุณหภูมิหรือคุณสมบัติของวัสดุบาง ๆ ปัจจัยดังกล่าวทำงานร่วมกับกระบวนการควบคุมอื่น ๆ เช่นอุณหภูมิและการไหลของก๊าซเพื่อสร้างความแม่นยำในการผลิตฟิล์มบาง การปรับสมดุลกระบวนการเหล่านี้สามารถลดการรบกวนจากการทำลายล้างและลดประสิทธิภาพการทำงานของเทคโนโลยีกล้องจุลทรรศน์นี้
