Bir nanometreden daha az olan birkaç mikrometreden kalınlığa kadar her yerde ölçüm yapan ince filmler, bir substratın yardımı olmadan kullanılamayacak kadar ince ve hassastır. Filmler bir substratın yüzeyinde oluşturulmalı ve yapıldıktan sonra bu malzemeye bağlı kalmalıdır. Pek çok farklı ince film substrat tipi vardır ve mühendisler, ince filmin kullanım amacına dayanarak bir substrat seçtiler. Yüzeyler metal, seramik, cam, plastik veya bu malzemelerin birleşiminden yapılabilir.
Seramik ince film substratları, elektroniklerde kullanılması amaçlananlar da dahil olmak üzere çeşitli ince filmler için kullanılır. Süper iletkenler, yarı iletkenler ve mikroçipler genellikle seramik bir alt tabaka üzerinde yetişen ince bir film kullanır. Bazı yaygın seramik substratlar alümina, beriller ve alüminyum nitrürdür.
Alümina, en yaygın kullanılan seramik substrattır, çünkü onu oluşturmak için kullanılan materyaller kolayca temin edilebilir ve ucuzdur. Malzeme dayanıklıdır, iyi ısı iletir ve güçlü asit ve bazlara karşı dirençlidir. Berillia, ortak bir seçenektir çünkü yüksek bir erime noktasına sahiptir ve mükemmel bir yalıtkandır.
2,498 dereceye kadar sabit kalan bir malzeme Fahrenheit (1,370 derece Santigrat), alüminyum nitrür en yaygın seramik ince film substratlarından bir diğeridir. Aynı zamanda hızlı bir şekilde ısı iletir ve ısıtıldığında genleşmez. Substratı yapmak için kullanılan kimyasallar tipik yarı iletkenlerde kullanılanlarla reaksiyona girmez. Bu malzeme genellikle ısı alıcıları, mikrodalga cihazları, güç transistörleri ve yüksek sıcaklıklarda cisimleri işlemek için kullanılan malzemelerde kullanılır.
Cam veya saydam plastik, mikroskoplar ve teleskoplar gibi optik cihazlarda bulunan ince film substratları olarak kullanılır. Bu alt tabakalar, çeşitli işlevleri yerine getirmek üzere tasarlanabilen çeşitli ince film merceklerle donatılabilir. Bir mercek aracılığıyla izin verilen ışık frekansları aralığını daraltabilir veya belirli ışık frekanslarını artırabilir. Farklı lensler, farklı spesifikasyonlara göre tasarlanmıştır ve tek bir cam alt tabakası, ışığın niteliklerini çeşitli şekillerde değiştiren bir dizi farklı ince film filtresi ile donatılabilir.
Bazı metaller ayrıca ince film substratları olarak da kullanılabilir. Belirli metallerin özellikleri hangi ince filmleri en iyi şekilde destekleyeceklerini belirlemek için kullanılır. Metalik substratlar, bazı elektronik cihazlar dahil olmak üzere çeşitli ince film cihazlarında kullanılır.
