Bir eksimer, elektronik olarak uyarılmış bir durumda en az bir atomun mevcut olduğu, uyarılmış bir dimer adı verilen iki atomun geçici bir kombinasyonudur. Normal koşullar altında, atomlar protonlarını çevreleyen enerji seviyesi başına iki elektron içerir, elektronlar ters yönlerde döner. Atom ışıktan enerjiyi emdiğinde, bir elektron eşleşmemiş bir elektron bırakarak daha yüksek bir enerji yörüngesine hareket edebilir. Atom, sadece bu uyarılmış koşullar altında bir dimer oluşturmak için başka bir atomla birleşir ve dimer enerjisini serbest bıraktığında ve elektron, temel durumuna geri döndüğünde, dimer ayrışır ve floresan ışığı yayar. Bir excimer tipik olarak sadece birkaç nanosaniye kadar sürebilir.
Excimer lazerler göz ameliyatı, mikroişleme ve bilgisayar yongası oluşturmada kullanılan ultraviyole lazerlerdir. Lazer, basınç ve elektrikle elektrik akımını, flor veya klor gibi reaktif gazların karışımlarından ve kripton veya argon gibi atıl gazlardan geçirerek kararır. İnert gaz molekülleri, reaktif gazlara geçici olarak bağlanır ve enerjiyi kendiliğinden veya stimüle ederek serbest bırakan uyarılmış bileşikler oluşturur. Moleküller enerjilerini serbest bıraktıkları ve ayrıldıklarında ultraviyole (UV) lazer ışığı yayar.
Ultraviyole ışık biyolojik veya organik doku veya materyallerde moleküler bağları bozar. Düşük bir penetrasyon derecesine sahiptir ve etkilenen doku yanmak yerine havaya dağılmaktadır. Bu nedenlerden dolayı, excimer lazerler oküler yüzeydeki yüzey dokusunu yeniden şekillendirmek veya elimine etmek için kullanılır. Lazer yardımlı interstisyel keratomilieusis (LASIK), korneanın eğriliğini ayarlamak için korneanın bir dış kanadının altındaki dokuya excimer türevli UV ışığının uygulanmasıdır. Kornea şeklinin düzleşmesi yakın görüşlülüğü tedavi eder ve korneanın dikleştirilmesi uzak görüşlülüğü ele alır. Ek olarak, astigmatizm üreten düzensiz kornea kontur bölgeleri de elimine edilebilir.
Odaklanma sorunlarını tedavi etmek için göz ameliyatına ek olarak, excimer lazerlerin sağlıkla ilgili başka uygulamaları da vardır. Excimer lazerler tıkalı arterlerdeki tıkanıklıkları açmak için anjiyoplasti ameliyatlarında kullanılmıştır. Dermatologlar, vitiligo ve sedef hastalığı da dahil olmak üzere çeşitli cilt lezyonlarını parçalamak için ksenon klorid uyarıcılarını kullandılar. Göz doktorları, excimer lazer kullanarak yüzeysel kornea izlerini doğru şekilde çıkarabilirler.
Kripton-florin veya argon-florin dimerlerinin kullanıldığı derin ultraviyole ışık (DUV) lazerleri, 193 ila 248 nanometreden (7.8 X10-6 ila 9.8 X 10-6 inç) dalga boylarında ışık yayar. Endüstriyel açıdan bakıldığında, mikroçip cihaz üreticileri, yüksek çözünürlüklü fotolitografi için bu derin excimer lazerleri kullanır. Bu, on nanometre kadar küçük bir alanda verilerin yakalanmasını sağladı ve eski teknolojiyle üretilen yongalardan daha küçük, daha yoğun bilgisayar yongalarının üretilmesine izin verdi. Mikroçipler, 1990 yılında 0,5 mikrometreden (2 X 10 - 5 inç) boyutta, 2010 yılında yaklaşık 43 nanometreye (1.7 X 10 -6 inç) kademeli olarak küçülme yaşadı. Ek olarak, excimer lazerler plastiklerin ve polimerlerin olağanüstü şekilde kesilmesine izin verdi hassas.
