Burgu Elektron Spektroskopisi (AES), genellikle bir yüzeyin ince, mikroskobik bir katmanının kimyasal bileşimini belirlemek için kullanılır. Elektron adı verilen parçacıklar tipik olarak, bir atomun iç kabuğundan bir elektronun çıkarıldığı, daha yüksek seviyeli bir parçacığın yer aldığı ve bir başka elektronun salındığı Auger etkisini tetikleyen malzemeye yöneliktir. Çok yüksek vakumda yapılan testler genellikle elektron tabancası, analizör, dedektör ve veri kaydedici ile yapılır. Bilgi tipik olarak grafiksel olarak analiz edilir; dorukların yapısı genellikle numunede hangi bileşiklerin bulunduğunu belirlemeye yardımcı olur.
Elektron ışınları genellikle kullanılır, bununla birlikte röntgenler bazen serbest bırakılır. Test edilen malzemenin türü hangisinin kullanılacağını belirler; Örneğin oksitler, yüksek seviyeli elektronlara maruz kalırsa bozulabilir. Bir Auger elektronunun enerjisi tipik olarak elemente özgü olduğu için maddeler tanımlanabilir. Auger elektron spektroskopisinde, çıkan partiküller genellikle diğerleri kadar enerjik değildir. Genellikle kaçabilmek için yüzeye çok yakın olmaları gerekir ve AES sırasında mevcut olan herhangi bir gaz partikülün dedektöre ulaşmasını engelleyebilir.
Auger elektron spektroskopisinde kullanılan bir elektron tabancası, genellikle parçacıklar için bir kaynaktan ve ışını odaklayan bir mercekten oluşur. Lens elektrostatik veya elektromanyetik olabilir; hangisinin kullanıldığı gerekli çözünürlüğe bağlıdır. Bir Auger elektron spektroskopisi tekniğinin bir parçası olan bir elektron enerji analizörü, yayılan parçacıkları enerji seviyelerine göre sıralayabilir. Analizör, silindirik bir ayna veya iki yarım küre merkezli mermi olarak tasarlanabilir.
Tek veya çok kanallı dedektörler, Auger elektron spektroskopisi için sıklıkla kullanılır. Veriler daha sonra bir grafikteki tepe kümeleriyle analiz edilir. Taramaların tamamlanması genellikle birkaç dakika alırken, yüksek çözünürlüklü ölçümler 25 dakika kadar sürebilir. Bir anket taraması tipik olarak hangi elementlerin mevcut olduğunu tanımlarken, başka bir tarama belirli atomların ne kadar konsantre olduğunu söyleyebilir. Işın numune boyunca tarandığında, o zaman ölçülen yüzeyin bir haritası üretilebilir.
Burgu elektron spektroskopi bilimi birçok fizik ve kimya uygulamasında sıklıkla kullanılmaktadır. Yüzeylerdeki elementleri belirlemeye ek olarak, oksidasyon ve korozyonu tespit etmek için de kullanılabilir. Sıcaklık tepkisi ve ilgili yorgunluk, AES kullanılarak analiz edilebilir. Bu teknik aynı zamanda kirletici maddeler için entegre devreleri denetlemek için de kullanılabilir, ancak işlemin sınırlı olması, test edilen malzemenin yüzeyinde genellikle hasar olduğu anlamına gelir.
