Vakumlu çökeltme terimi, ayrı ayrı parçacıkları, özellikle atomları ve molekülleri bir yüzeye koymak için tasarlanan bir işlem grubunu tarif eder. Prosesler, yüksek oranda reaktif olabilen oksijen gibi gaz parçacıkları ile herhangi bir girişimi veya reaksiyonu önlemek için bir vakumda gerçekleştirilir. Bir yüzeye uygulanan çok ince bir madde tabakasına film, daha kalın bir tabakaya kaplama denir. Vakumlu çökeltme, iletken tabakaların yüzeylere biriktirilmesi veya metallerin korozyondan korunması gibi birçok farklı amaca hizmet edebilir. İşlem ayrıca çeşitli otomotiv parçalarında paslanma ve korozyonu önleme gibi çeşitli amaçlar için de kullanılır.
En sık kullanılan vakum biriktirme yöntemleri buhar kullanımını içerir. Bazen, yüzeyde biriktirilecek madde buharlaştırılır; daha sonra yüzeyde bir katman olarak yoğunlaşır. Diğer durumlarda, buharlaşmış madde veya maddeler istenen filmi veya kaplamayı oluşturmak için yüzeyle reaksiyona girer. Bazı durumlarda, istenen sonuçları elde etmek için sıcaklık veya buhar yoğunluğu gibi diğer faktörler manipüle edilmelidir. Bu faktörler katmanın kalınlığını ve yapışmasını etkileyebilir, bu yüzden doğru şekilde düzenlenmeleri esastır.
Fiziksel buhar biriktirme, yalnızca fiziksel işlemlerin gerçekleştiği vakum biriktirmedir; kimyasal reaksiyon yok. Fiziksel buhar biriktirme yöntemleri öncelikle ince filmlerle yüzeyleri kaplamak için kullanılır; buharlaşmış maddeler yüzeyde yoğunlaşır. Bu tür bir yönteme elektron ışını fiziksel buhar biriktirme adı verilir. Elektron ışını fiziksel buhar birikmesinde, biriktirilecek malzeme ısıtılır ve biriktirme yüzeyinde yoğunlaşmadan önce bir elektron ışını ile buharlaştırılır. Fiziksel vakum biriktirmenin bir başka yaygın yöntemi, gaz veya buharın bir kaynaktan çıkarıldığı ve kaplanacak yüzeye yönlendirildiği püskürtme biriktirme yöntemidir.
Kimyasal buhar biriktirme, istenen film veya kaplamayı üretmek için kimyasal işlemlerin kullanıldığı bir vakum biriktirme biçimidir. Gazlar veya buharlar vakumda kaplayacakları yüzeyle reaksiyona girer. Silisyum nitrür veya polisilikon gibi birçok farklı kimyasal, farklı kimyasal buhar biriktirme işlemlerinde kullanılır.
Vakum, vakum biriktirmenin önemli bir parçasıdır; birkaç önemli rol üstlenir. Bir vakumun varlığı, düşük bir yoğunlukta istenmeyen partiküllere yol açar, bu nedenle yüzeyi kaplaması amaçlanan partiküller, kirletici herhangi bir partikül ile reaksiyona girmez veya çarpışmaz. Vakum ayrıca bilim adamlarının vakum haznesinin vakum bileşimini kontrol etmelerine izin verir, böylece uygun boyutta ve tutarlılıkta bir kaplama üretilebilir.
