Çok çeşitli fonksiyonlar mikroelektronik tarafından gerçekleştirilir ve bunlar tarafından yapılan önemli ölçümlerden biri titreşimdir. Titreşim sensörleri, salınımlı hareket olarak bilinen ve sürekli ileri geri giden bir hareketi ölçer. Yön, eksenli bir koordinat sistemi kullanılarak gösterilebilir ve yerçekimi ile ilgili kuvvet de ölçülebilir. Titreşim analizi, öncelikle titreşim izleme sensörleri tarafından analiz edilen ivmenin yanı sıra yer değiştirmeyi ve hızı ölçerek yapılır. Farklı tipler arasında piezoelektrik, integral elektronik piezoelektrik, piezorezistif, değişken kapasitans ve servo sensörler bulunur.
Titreşim sensörlerine genellikle ivmeölçerler denir. Piezoelektrik akselerometreler, kendilerine etki eden kuvvetlerin enerjisiyle çalışırlar, bu nedenle sistemde fazladan güç kaynaklarına ihtiyaç yoktur. Sensörün her iki yanındaki elektron yüklerinin yer değiştirmesi, ölçümler üretmek için kullanılır. Bu sensörün yaygın tipleri arasında, büyük sıcaklık farklılıklarını gidermek için inşa edilmiş olan bir makas tasarımı ve genellikle düşük bir maliyette mevcut olduğundan, genellikle tercih edilen ışın tipi bir tasarım bulunur.
İntegral elektronik piezoelektrik sensörler, kendi başına küçük amplifikatörler içerir, bu nedenle piezoelektrik ürünlerde olduğu gibi özel bir kabloya gerek yoktur. Giriş ve çıkış sinyalleri, sensöre bağlı tek bir kablodan geçer ve genel tasarım elektrik gürültüsünden korunur. Bu cihaz ayrıca elektronik filtreler, elektriksel aşırı yük koruması ve çeşitli aksesuar fonksiyonları içerebilir.
Piezorezistif bir sensör, daha karmaşık bir çıktı üretmek için tek veya çok kollu bir tasarımda yapılandırılmıştır. Dış güç kaynakları tarafından beslenir, yön veya kuvveti değiştirmek yerine sabit olan titreşim koşullarını izlemek için bir çıkış sinyalinin kullanılmasına izin verir. Yüksek ivmelenme koşulları için, değişken kapasitanslı titreşim sensörleri genellikle silikon gofretleri arasında dayanıklılık için boşluklarla birleştirir. Tanımlanan çalışma aralıklarının 1000 katına kadar olan ivmeleri tolere edebilirler.
Açık döngü konfigürasyonunda, bir servo veya kuvvet dengesindeki kristallerin veya diğer elemanların yer değiştirmesine dayanan diğer sensörlerin aksine, ivmeölçer kapalı döngü tasarımını kullanır. Servo tahrikli titreşim sensörleri daha yüksek bir hassasiyete sahiptir ve atalet kılavuzluk sistemlerinde kullanılabilir. Titreşim analizi için diğer yaygın sensör formları arasında yakınlık sensörleri bulunur. Bunlar genellikle elektrik iletkenliklerini ölçerek iç bileşenlerin hareketini izlemek için makinelerin içinde bulunur. Bunlar temassız olsa da, diğer titreşim sensörleri hareketi veya mesafeyi doğru bir şekilde ölçmek için temasa geçer.
