Bir mikro-elektromekanik sistemler veya MEMS jiroskopu, bir nesnede veya sistemdeki dönme açısını ve hızını ölçen atalet algılamalı bir entegre devredir. Hedeflenen uygulamalar için programlanabilir olan bu teknoloji, X (adım), Y (rulo) ve Z (yalpa) olan üç boyutlu algılama eksenine dayanır. Cihazlar, yerçekimi veya manyetik alanlar gibi faktörlerden etkilenmeden karmaşık hareketleri doğru bir şekilde izleyebilir. Bir zamanlar taşıtları ve araçları işgal ettiğinde, bu teknoloji şimdi bir dizi tüketici teknolojisinde ortaya çıkıyor.
Mikro elektromekanik sistemler, mikro fabrikada entegre devrelere dayanan teknolojilerdir. Bu cihazlar iki amaca hizmet etmek için aktif algı ve kontrol işlevlerini kullanır: mikrosensörler ve aktüatörler olarak. Bir MEMS jiroskopu, hafif dönme derecelerini bile tespit edecek kadar hassastır ve ivmeölçerler tarafından ölçülen doğrusal hareket faktörlerini ortadan kaldırır. Bu, teknolojiyi fiziksel alanda mutlak bir konuma yönlendirmeye hizmet eder.
Atalet algılama, ivme, şok ve eğim dahil olmak üzere birçok hareket türünün ölçümünü ifade eder. Bu konulara kendi özel yöntemleriyle yaklaşmak için çok sayıda cihaz geliştirilmiştir ve hassas etkinliklerde algılama ve işleme sağlamak için genellikle birlikte paketlenmiştir. Endüstrilerde yüksek gravite ve düşük gravite uygulamalarını kullanırlar.
Birkaç tip MEMS jiroskopu mevcuttur. Bunlar ayar çatalı, titreşimli halka, piezoelektrik levha ve şarap kadehi jiroskoplarını içerir. Ayar çatalı modeli, yönelime karşılık gelen bir sinyal gönderen bir salınım düzleminden rezonant bir yer değiştirmeye dayanır. Titreşimli halka tipleri, sinyalleri bir transdüsere göndermek için tekerleğin dönüşünü kullanır.
Piezoelektrik model, titreşim ve Coriolis kuvveti arasındaki reaksiyonları ölçer; bu atalet ile Dünya'nın rotasyonu arasındaki ilişkidir. Bir şarap camı rezonatörü, dönüşü saptamak için yarım küre üzerindeki noktaların rezonansını ölçer. MEMS jiroskop bileşenlerinin işlevselliği sayısız teknoloji ve endüstriye hizmet eder.
Genellikle entegre devreler ve ivmeölçerler ile birlikte, bu cihazlar dijital ve analog çıkışlar sağlar. Uygulamalar büyük ölçekli askeri projelerden masaüstü cihazlarına kadar uzanabilir. Bu jiroskoplar rehberli cephanelerde ve gemi ve uyduları yönlendirmede bulunur. Tüketici ürünlerinde, dijital kameralarda uzaktan kumandalar, oyuncaklar, kişisel navigasyon ve görüntü sabitleme için kullanılırlar. Ayrıca tıbbi ortamlarda da kullanılabilirler.
MEMS jiroskopuyla birlikte, MEMS cihazları ivmeölçerler, aktüatörler ve pusulalar içerebilir. Diğer jiroskop türleri, genellikle yaldızlara monte edilmiş eğirme çeşitlerinden ve lazer dalga boylarının etkileşimlerini okuyan optik tiplerden oluşur. Kişisel taşıma cihazlarından model helikopterlere ve video oyunlarına kadar her şeyi dengeleyen bulgular bulunan bu cihazların tümü, titreşimli nesnelerin, bir desteğin hareketine rağmen titreşim düzlemlerini tutma eğiliminde olduğu temelindeki temel prensip üzerinde çalışır.
