Was ist dünner Filmspannung?
Dünnfilmspannung bezieht sich auf eine Auswahl struktureller Unvollkommenheiten, die zum Abbau oder zum Versagen von mikroskopischen Schichten von optischem oder leitfähigem Material führen. Eine Anzahl von Problemen kann auftreten, wenn der Film nicht ordnungsgemäß produziert oder auf ein Produkt angewendet wird. Bei Schichten können manchmal nur wenige Atome dicke Wechselwirkungen zwischen Materialien einen ausgeprägten Einfluss auf die Leistung des Films haben. In Anbetracht dieser vielen Einflüsse können mehrere Schlüsselarten von Dünnfilmspannungen auftreten. Dazu gehören epitaktischer Stress, thermischer Stress und Wachstumsstress sowie andere Deformationsprozesse. Haushalts- und wissenschaftliche Technologien stützen sich auf einen Dünnfilm für eine Vielzahl von leichten Wellenlängenanwendungen, z. Produkte können auch von Dünnfilmmaterialverstärkern profitierenElemente wie Kratzer oder Schlagfestigkeit. Dünnfilm manipuliert die Wellenlängen- und Leitfähigkeitseigenschaften und erweitert die Fähigkeiten zahlreicher Technologien. Die unterschiedlichen Herausforderungen für Herstellungs- und Ablagerungen bieten ein bewegendes Ziel für Innovation und Verfeinerung. Im Allgemeinen wird Dünnfilm mit Methoden hergestellt, die einzigartige Eigenschaften, Stärken und Mängel aufweisen. Film kann knacken oder ungültig werden und sich manchmal von seinem Substratmedium hebt, während andere Prozesse die Eigenschaften wie Widerstand gegen Feuchtigkeit oder Oxidation beeinträchtigen können.
epitaxiale Dünnfilmspannung tritt auf, wenn Kristallgitter in einem Film perfekt gegen die im Substrat oder das Stützmaterial auftreten. Ein Missfit -Stress führt, wenn Film und Material zu einem einzelnen Kristall werden. Wärmespannung dErives von Temperaturunterschieden unter dem Einfluss der Wärmeausdehnung. Diese Art von Spannung tritt häufig in Geräten auf, die Temperaturänderungen oder Extremen unterliegen.
Wachstumsdünnfilmspannung, auch als intrinsischer Stress bezeichnet, fehlerhaft durch Inkonsistenzen während des Abscheidungsprozesses. Stress entsteht typischerweise, wenn die Filmdicke ungleichmäßig geschichtet wurde. Verschiedene Zustände können durch Kompression, Spannung oder Relaxationsunterschiede in der Koaleszenz von Kristallen auftreten.
Eine andere Art von Dünnfilmspannung ist als Oberflächenspannung bekannt. Es tritt während der Ablagerung als Krafteinheit pro Länge der Einheit auf. Dieser Typ steht im Gegensatz zur Oberflächenenergie, der Temperaturbilanz oder chemischen Reaktion auf einer Oberfläche der Einheit. Korngrenzen können Stress erzeugen, da Kristalle in ihren Wechselwirkungen eine begrenzte Flexibilität aufweisen.
Infolge der Dünnfilmspannung können Effekte im Allgemeinen die Leistung von Dünnfilmen verändern und ihn uneinheitlich über seine Oberfläche deformenBereich. Es ist wichtig, die gewünschten Spannungsschwankungen innerhalb der angegebenen Temperatur- oder Materialeigenschaften eines dünnen Films zu verstehen und zu erzeugen. Solche Faktoren arbeiten mit anderen Kontrollprozessen wie Temperaturen und Gasströmen zusammen, um Zielgenauigkeiten in der Dünnfilmproduktion zu erzeugen. Das Ausgleich dieser Prozesse kann zerstörerische Störungen minimieren und die Leistung dieser mikroskopischen Technologie optimieren.