Co je tenký filmový proces?

Proces tenkého filmu může zahrnovat řadu různých chemických nebo fyzikálních postupů. Nejběžnější techniky zpracování tenkých vrstev jsou použití kapalných nebo plynných chemikálií, odpařovacích metod nebo rozprašovacího procesu. Kombinace těchto technik jsou také běžné v procesu tenkých vrstev, což umožňuje větší kontrolu nad vlastnostmi finálního produktu. Proces tenkého filmu může být fyzikální nebo chemické povahy.

K vytvoření tenkého filmu lze použít chemikálie, buď v kapalné nebo plynné formě. Chemická depozice par například vystavuje materiál chemické látce, která se na materiál rozkládá nebo reaguje. Během tohoto procesu často vznikají nebezpečné nebo těkavé vedlejší produkty, takže laboratoře musí být vybaveny k likvidaci výsledných chemikálií. Zahřívání substrátu může zvýšit růst tenkého filmu během chemické depozice par.

Odpařování je další běžný proces tenkého filmu. Při odpařování se cílový materiál zahřívá, dokud se neodpaří nebo sublimuje. Jakmile je látka plyn, uvolňuje se do komory, která obsahuje substrát, na kterém se tenký film vytvoří. Látka zasáhne substrát a vytvoří tenký film.

Existuje řada různých strojů, které lze použít k odpařování cílových materiálů. Tyto stroje mohou ohřívat cílový materiál na vyhřívané cívce, desce nebo ve vyhřívané komoře. Látky mohou být také odpařeny, pokud jsou zasaženy paprskem elektronů nebo fotonů o vysoké intenzitě, jako jsou ty, které jsou emitovány laserem.

Proces naprašování, také nazývaný naprašování nebo reaktivní magnetronové naprašování, je běžně používaným procesem tenkého filmu. Během tohoto procesu je substrát umístěn ve vakuové komoře ve specializovaném stroji. Vzduch se vysává z komory a cílový materiál se uvolňuje do komory ve formě plynu. Silné magnety vytvářejí náboj, který způsobuje, že se cílový materiál ionizuje a ukládá na substrát. Pohyb substrátu sem a tam během tohoto procesu zajišťuje, že tenký film je rovnoměrně distribuován na svém povrchu.

Proces tenkého filmu vytváří tenké filmy různých prvků nebo molekul, které se pohybují mezi několika a několika stovkami atomů. Tenké filmy mají mnoho použití a jsou běžnými součástmi v počítačích, optických zařízeních a jako barevné filtry pro fotoaparáty a dalekohledy. Tenké filmy se obvykle vyrábějí z titanu, hliníku, zlata, stříbra a slitin těchto kovů. Mezi běžné substráty patří kovy, plasty, sklo a keramika.