薄膜基板のさまざまな種類は何ですか？

ナノメートル未満から数マイクロメートルの厚さまで測定する薄膜は、基質の助けなしには薄すぎて繊細です。フィルムは、基板の表面に作成され、作られた後もこの材料に取り付けられたままでなければなりません。さまざまな種類の薄膜基板があり、エンジニアは薄膜の意図した使用に基づいて基板を選択しました。基板は、これらの材料の金属、セラミック、ガラス、プラスチック、または組み合わせで作ることができます。

セラミック薄膜基板は、電子機器で使用することを目的としたものを含む、さまざまな薄膜に使用されます。超伝導体、半導体、マイクロチップは、一般に、セラミック基板上で栽培される薄膜を使用します。いくつかの一般的なセラミック基質は、アルミナ、ベリリア、窒化アルミニウムです。

アルミナは、それを作成するために使用される材料が容易に入手でき、安価であるため、最も一般的に使用されるセラミック基質です。材料は耐久性があり、熱を伝導しますよく、強酸や塩基に耐性があります。 Berylliaは、融点が高く、優れた絶縁体であるため、もう1つの一般的な選択肢です。

華氏2,498度（摂氏1,370度）まで安定したままの材料である窒化アルミニウムは、最も一般的なセラミック薄膜基板の1つです。また、急速に熱を伝導し、加熱しても膨張しません。基質を作るために使用される化学物質は、典型的な半導体で使用されるものと反応しません。この材料は、ヒートシンク、マイクロ波デバイス、電源トランジスタ、および高温のオブジェクトを処理するために使用される材料によく使用されます。

ガラスまたは透明なプラスチックは、顕微鏡や望遠鏡など、光学装置で見られる薄膜基質が一般的に使用されています。これらの基質には、さまざまな機能を実行するように設計できるさまざまな薄膜レンズを装備できます。範囲を狭めることができますレンズを通して許可される光周波数の、または特定の周波数の光を強化します。異なるレンズは異なる仕様に合わせて設計されており、ガラスの単一の基質には、さまざまな方法で光の品質を変える多くの異なる薄膜フィルターを装備できます。

一部の金属は、薄膜基質としても使用できます。特定の金属の特性は、どの薄膜が最もサポートされるかを判断するために使用されます。金属基板は、一部の電子デバイスを含むさまざまな薄膜デバイスで使用されています。