さまざまな種類の薄膜基板とは何ですか？

ナノメートル未満から数マイクロメートルの厚さまで測定する薄膜は、基板の助けを借りずに扱うには非常に薄く繊細です。 フィルムは基板の表面に作成し、作成後もこの材料に付着したままにする必要があります。 薄膜基板にはさまざまな種類があり、エンジニアは薄膜の使用目的に基づいて基板を選択しました。 基板は、金属、セラミック、ガラス、プラスチック、またはこれらの材料の組み合わせで作ることができます。

セラミック薄膜基板は、電子機器での使用を目的とした薄膜を含むさまざまな薄膜に使用されます。 超伝導体、半導体、およびマイクロチップは、通常、セラミック基板上に成長した薄膜を使用します。 一般的なセラミック基板には、アルミナ、ベリリア、窒化アルミニウムがあります。

アルミナは、最も一般的に使用されるセラミック基板です。これは、その作成に使用される材料が容易に入手でき、安価であるためです。 素材は耐久性があり、熱をよく伝導し、強酸と強塩基に耐性があります。 ベリリアは、融点が高く、優れた絶縁体であるため、もう1つの一般的な選択肢です。

華氏2,498度（摂氏1,370度）まで安定した素材である窒化アルミニウムは、最も一般的なセラミック薄膜基板の1つです。 また、熱を迅速に伝導し、加熱しても膨張しません。 基板を作るために使用される化学物質は、典型的な半導体で使用されるものと反応しません。 この材料は、ヒートシンク、マイクロ波デバイス、パワートランジスタ、および高温での物体の処理に使用される材料によく使用されます。

ガラスまたは透明プラスチックは、顕微鏡や望遠鏡などの光学デバイスに見られる一般的な薄膜基板です。 これらの基板には、さまざまな機能を実行するように設計できるさまざまな薄膜レンズを装備できます。 レンズを通過できる光の周波数範囲を狭めたり、特定の周波数の光を強調したりできます。 さまざまなレンズはさまざまな仕様に合わせて設計されており、ガラスの単一の基板には、さまざまな方法で光の品質を変化させるさまざまな薄膜フィルターを装備できます。

一部の金属は、薄膜基板としても使用できます。 特定の金属の特性を使用して、どの薄膜が最適にサポートされるかを決定します。 金属基板は、一部の電子デバイスを含むさまざまな薄膜デバイスで使用されています。