超高真空とは何ですか?

超高真空とは、10 -7 pascal または100ナノパスカル(1000万分の1分の1)未満の圧力を指します。 比較すると、大気圧は101.3 kPa(キロパスカル)であり、10億倍以上大きく、電球内の圧力は約1パスカルであり、サーモの壁の圧力は約0.1パスカルです。 地球周辺の地域の宇宙空間でさえ、超高マイクロパスカルの圧力があり、超高真空よりも1000倍大きいため、超高真空ではありません。 超高真空では、各ガス分子の平均自由経路は40 kmであるため、これらの分子は互いに衝突する前にチャンバーの壁と何度も衝突します。

超高真空は、主に、オーガー電子分光法、X線光電子分光法、二次イオン質量分析、熱脱着分光法、角度分解光放出分光法、および薄膜成長技術などの表面分析技術に使用されます。分子ビームエピタキシーやUHV化学蒸気堆積などの高純度。 超高真空は、粒子加速器でも使用され、空のビームパスを作成します。

超高真空を作成するには、並外れた対策が必要です。 特別なチャンバーの設計は表面積を最小限に抑え、平行ポンプを含む高速ポンプを使用する必要があり、高速電子チューブがポンプに使用され、閉じ込められたガスの穴(ボルト糸のように)を排除する必要があります。使用すると、システムを250°Cから400°C(482°F〜752°F)で焼いて、炭化水素または水の痕跡を除去する必要があります。 アウトガス - チャンバーの小さな亀裂を介したガス分子のゆっくりとした侵入 - が大きな問題になる可能性があります。 いくつかの部屋Sは、それらが製造された方法のために、超高真空を生成することができず、ハードウェアを捨てて交換する必要があります。 これらすべての理由から、超高真空を達成することは高価で困難です。

超高真空は極端に見えるかもしれませんが、月の表面や星間空間など、いくつかの環境はさらに良い真空です。 BoötesVoidなどの空間の一部の領域は非常に希少であるため、1立方メートルあたり1つの原子しかありません。

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