ESDとは?

静電放電(ESD)は、2つのオブジェクト間の静電荷の移動です。 これは、電位の異なる2つのオブジェクトが互いに直接接触したときに発生する非常に高速なイベントです。 半導体業界でのデバイス障害の主な原因の1つはESDです。

充電すると、ある物体がその表面で電子を獲得し、負に帯電します。 他のオブジェクトは、その表面領域から電子を失い、正に帯電します。 特定の物体から受ける小さな電気ショックは、摩擦帯電したときに発生します。

摩擦電気電荷は、2つの物体が互いに接触して分離することから生じる電子移動に使用される用語です。 これは単に部屋を横切って歩くことで起こります。 さまざまな素材と接触すると、正または負の電荷を帯びることがあります。

ESDによる障害は、さまざまな方法で発生する可能性があります。 障害は、短絡またはバーンアウト、抵抗と金属の接合リークの融合、および抵抗と金属の界面破壊の1つ以上の兆候を示します。 ESDの防止または制御には3つの主要なカテゴリがあります。 1つは、静電気の蓄積を防ぐことです。 次は、蓄積した電荷を安全に分散させることです。3番目は、ESDの原因となる製品のESD耐性を向上させることです。

帯電防止は、職場でのESDの蓄積傾向が高い材料を除去するという理論に基づいています。 すべての機器には、ゴムローラーやプラスチックストッパーなど、このような堆積を引き起こす可能性のある可動部品がないようにする必要があります。 イオナイザーを使用して新しく生成された電荷を中和すると、電荷の蓄積も防止されます。

接地は、ESDを除去するための最も重要な要素の1つです。 たとえば、職場では、共通点は1つだけである必要があります。 接地への電荷の電気経路に対して適切な対策を講じる必要があります。 蓄積された電荷は、適切な接地システムによって消費されます。 生産ライン、機器、作業台のすべてをこの共通のグラウンドに接続する必要があります。

単一の共通基盤を持つことにより、職場の床にあるすべてのものが同じ電位に維持されます。 職場に導電性床材がある場合、定期的にこの共通のアースに接続する必要があります。 導電性の靴は、適切に接地されたリストストラップとフットストラップと共に、すべての電荷を共通の接地にもたらします。 職場には、ESD予防措置について適切に訓練された人員も必要です。 従業員に会社のESDポリシーを認識させるためのトレーニングスキームを整える必要があり、ESD制御コンプライアンスの定期的な監査が不可欠です。

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