Co to są MEMS?

MEMS oznacza systemy mikroelekto-mechaniczne , odnosząc się do funkcjonalnych systemów maszyn z komponentami mierzonymi w mikrometrach. MEMS jest często postrzegany jako odskocznia między konwencjonalnymi maszynami makroskali a futurystyczną nanomachineryną. MEMS-Precursors są już od jakiegoś czasu w postaci mikroelektroniki, ale systemy te są czysto elektroniczne, niezdolne do przetwarzania lub wyświetlania czegokolwiek oprócz szeregu impulsów elektrycznych. Jednak nowoczesne techniki oszałamiania MEMS są w dużej mierze oparte na tej samej technologii stosowanej do wytwarzania zintegrowanych obwodów, tj. Techniki depozytu filmowego, które wykorzystują fotolitografię.

w dużej mierze uważane za technologię umożliwiającą w sobie technologię, a także wytworzenie MEM, jest postrzegane przez inżynierów i technologii. Najczęściej wspomnianym w połączeniu z MEMS jest idea „lab-on-a-cHIP, „Urządzenie, które przetwarza małe próbki chemikaliów i zwraca przydatne wyniki. Może to okazać się dość rewolucyjne w dziedzinie diagnozy medycznej, w którym analiza laboratoryjna powoduje dodatkowe koszty ubezpieczenia medycznego, opóźnienia w diagnozie i niewygodne dokumenty.

MEM są wytwarzane na jeden z dwóch sposobów: albo poprzez mikroobróbkę powierzchniową, w której kolejne warstwy materiału osadzają się na powierzchni, a następnie wytrawiane do kształtu, albo poprzez masowe mikroobróbce, gdzie sam podłoże jest wytrawiane w celu uzyskania produktu końcowego. Mikroobrominia powierzchniowa jest najczęstsza, ponieważ opiera się na postępach obwodów zintegrowanych. Unikalne dla MEMS, techniki osadzania czasami pozostawiają „warstwy ofiarne”, warstwy materiału, które mają zostać rozpuszczone i zmyte na końcu procesu wytwarzania, pozostawiając pozostałą strukturę. Ten proces pozwala urządzeniu MEMS mieć złożoną strukturęe w 3 wymiarach. Wykonano różne koła zębate, pompy, czujniki, rurki i siłowniki, a niektóre z nich są już zintegrowane z codziennymi produktami komercyjnymi.

Przykłady stosowania współczesnych MEMS obejmują drukarki atramentowe, akcelerometry w samochodach, czujniki ciśnienia, optyka precyzyjna, mikroprzepływ, monitorowanie poszczególnych neuronów, systemów sterowania i mikroskopii. Obecnie nie ma czegoś takiego jak produktywny system maszyny do mikroskla na zamówienie produktywnych linii montażowych Macroscale, ale wydaje się, że wynalezienie takiego urządzenia jest tylko kwestią czasu. Perspektywa produkcji z MEMS jest ekscytująca, ponieważ tablice takich systemów pracujących w stycznej mogą być znacznie bardziej produktywne niż systemy makroskali zajmujące tę samą objętość i zużywa tę samą ilość energii. Jednym z najważniejszych ograniczeń byłoby jednak, że produkty Macroscale zbudowane przez systemy maszyn mikroskalowych musiałyby składać się głównie z prefabrykowanego mikroSkalowe elementy konstrukcyjne.