Que sont les MEMS?
MEMS signifie Micro Electro-Mechanical Systems , se référant aux systèmes de machines fonctionnelles avec des composants mesurés en micromètres. MEMS est souvent considéré comme un tremplin entre des machines macroscopatives conventionnelles et des nanomachines futuristes. Les MEMS-Précurseurs existent depuis un certain temps sous la forme de microélectronique, mais ces systèmes sont purement électroniques, incapables de traiter ou de produire autre chose qu'une série d'impulsions électriques. Cependant, les techniques de fréquentation des mems modernes sont largement basées sur la même technologie utilisée pour fabriquer des circuits intégrés, c'est-à-dire des techniques de dépôt de films qui utilisent la photolithographie.
considéré comme une technologie habilitante plutôt que sur une fin en soi, la fabrication de MEMS est considérée par des ingénieurs et des techniciens comme une autre avance de bienvenue dans notre capacité de synthèse de synthétiser une série de structures physiques pour une autre gamme de tas de bienvenue. Le plus souvent mentionné en conjonction avec MEMS est l'idée d'un "laboratoire sur A-CHip, "Un appareil qui traite de minuscules échantillons d'un produit chimique et renvoie des résultats utiles.
Les MEM sont fabriqués de deux manières: soit par la micro-immatrice de surface, dans laquelle des couches successives de matériau sont déposées sur une surface puis gravées pour façonner, ou par micromachining en vrac, où le substrat lui-même est gravé pour produire un produit final. La micromachinage de surface est la plus courante car elle s'appuie sur les progrès des circuits intégrés. Unique aux MEMS, les techniques de dépôt laissent parfois des «couches sacrificielles», des couches de matériau destinées à être dissoutes et emportées à la fin du processus de fabrication, laissant une structure restante. Ce processus permet à un appareil MEMS d'avoir un structure complexeE en 3 dimensions. Divers vitesses, des pompes, des capteurs, des tuyaux et des actionneurs en microscope ont été fabriqués et certains d'entre eux sont déjà intégrés dans les produits commerciaux de tous les jours.
Les exemples d'utilisation des MEMS modernes comprennent les imprimantes à jet d'encre, les accéléromètres dans les automobiles, les capteurs de pression, l'optique de haute précision, la microfluidique, la surveillance des neurones individuels, les systèmes de contrôle et la microscopie. Il n'y a actuellement pas de système de machine à microscope productif à l'ordre des lignes de montage macrosco-échelle productives, mais il semble que l'invention d'un tel appareil ne soit qu'une question de temps. La perspective de fabrication avec des MEMS est passionnante car les tableaux de ces systèmes travaillant en tangente pourraient être beaucoup plus productifs que les systèmes macroscopiens occupant le même volume et consommant la même quantité d'énergie. Une limitation proéminente, cependant, serait que les produits macroscalels construits par des systèmes de machines à microscope devraient être composés principalement de micro préfabriquéÉchelle des blocs de construction.