Hvad er et sputterende mål?

Et sputterende mål er et materiale, der bruges til at skabe tynde film i en teknik, der kaldes sputteraflejring eller tynd filmaflejring.Under denne proces er det sputterende målmateriale, der begynder som et fast stof, brudt op af gasformige ioner i små partikler, der danner en spray og belægger et andet materiale, der er kendt som underlaget.Sputteraflejring er ofte involveret i oprettelsen af halvledere og computerchips.Som et resultat er de fleste sputterende målmaterialer metalliske elementer eller legeringer, selvom der er nogle keramiske mål til rådighed, der skaber hærdede tynde belægninger til forskellige værktøjer.

Afhængig af arten af den tynde film, der oprettes, kan sputtering mål meget meget i størrelse i størrelseog form.De mindste mål kan være mindre end en tomme (2,5 cm) i diameter, mens de største rektangulære mål når godt over en gård (0,9 m) i længden.Nogle sputteringsudstyr kræver et større sputteringmål, og i disse tilfælde skaber producenterne segmenterede mål, der er forbundet med specielle led.

Designerne af sputteringssystemer, de maskiner, der udfører den tynde filmaflejringsproces, er blevet meget mere varierede ogbestemt.I overensstemmelse hermed er målform og struktur også begyndt at udvides i variation.Formen på et sputterende mål er normalt enten rektangulær eller cirkulær, men mange målleverandører kan skabe yderligere specielle former efter anmodning.Visse sputteringssystemer kræver et roterende mål for at give en mere præcis, endda tynd film.Disse mål er formet som lange cylindre og giver yderligere fordele, herunder hurtigere deponeringshastigheder, mindre varmeskade og øget overfladeareal, hvilket fører til større samlet anvendelighed.

Effektiviteten af sputteringmålmaterialer afhænger af flere faktorer, herunder deres sammensætning ogDen type ioner, der bruges til at nedbryde dem.Tynde film, der kræver rene metaller til målmaterialet, vil normalt have mere strukturel integritet, hvis målet er så rent som muligt.Ionerne, der blev brugt til at bombardere det sputterende mål, er også vigtige for at producere en anstændig tynd film af høj kvalitet.Generelt er argon den primære gas, der er valgt til at ionisere og starte sputteringsprocessen, men for mål, der har lettere eller tungere molekyler, er en anden ædelgas, såsom neon for lettere molekyler, eller krypton for tungere molekyler, mere effektiv.Det er vigtigt for atomvægten af gasionerne at svare til den for de sputterende målmolekyler for at optimere overførslen af energi og momentum og derved optimere jævnheden i den tynde film.