Co to jest cel rozpylający?
Cel rozpylający to materiał, który służy do tworzenia cienkich warstw w technice znanej jako osadzanie rozpylania lub osadzanie się cienkiego warstwy. Podczas tego procesu materiał docelowy rozpylający, który zaczyna się jako stał stały, jest rozkładany przez jony gazowe na małe cząstki, które tworzą spray i pokrywają inny materiał, znany jako podłoże. Odkładanie rozpylania jest powszechnie zaangażowane w tworzenie półprzewodników i układów komputerowych. W rezultacie większość materiałów docelowych rozpylających to elementy metaliczne lub stopy, chociaż dostępne są ceramiczne cele, które tworzą zahartowane cienkie powłoki dla różnych narzędzi.
W zależności od charakteru tworzonego cienkiego warstwy, celowanie może bardzo bardzo rozmiar i kształt. Najmniejsze cele mogą mieć średnicę o średnicy mniejszej niż jeden cal (2,5 cm), podczas gdy największe prostokątne cele sięgają dobrze nad jednym jardem (0,9 m) długości. Niektóre urządzenia do rozpylania będą wymagały większego celu rozpylania, aw takich przypadkach producenci stworząsegmentowane cele połączone przez specjalne połączenia.
Projekty systemów rozpylania, maszyny, które prowadzą proces osadzania cienkiego warstwy, stały się znacznie bardziej zróżnicowane i specyficzne. W związku z tym kształt i struktura docelowa również zaczęły się rozszerzać w różnorodności. Kształt celu rozpylającego jest zwykle prostokątny lub okrągły, ale wielu docelowych dostawców może tworzyć dodatkowe specjalne kształty na żądanie. Niektóre systemy rozpylania wymagają obrotowego celu, aby zapewnić bardziej precyzyjną, nawet cienką warstwę. Cele te mają kształt długich cylindrów i oferują dodatkowe korzyści, w tym szybsze prędkości osadzania, mniejsze uszkodzenia cieplne i zwiększona powierzchnia, co prowadzi do większej ogólnej użyteczności.
Skuteczność rozpylania materiałów docelowych zależy od kilku czynników, w tym ich składu i rodzaju jonów używanych do ich rozbicia. Cienkie folie, które wymagająCzyste metale dla materiału docelowego zwykle mają większą integralność strukturalną, jeśli cel jest tak czysty, jak to możliwe. Jony użyte do bombardowania celu rozpylającego są również ważne dla produkcji przyzwoitej cienkiej warstwy. Zasadniczo argon jest pierwotnym gazem wybranym do jonizacji i inicjowania procesu rozpylania, ale dla celów, które mają lżejsze lub cięższe cząsteczki inne szlachetne gaz, takie jak neon dla lżejszych cząsteczek lub krypton dla cięższych cząsteczek, jest bardziej skuteczny. Ważne jest, aby masa atomowa jonów gazowych była podobna do wagi docelowych docelowych, aby zoptymalizować przenoszenie energii i pędu, optymalizując w ten sposób równość cienkiej warstwy.