真空フランジとは

真空フランジは、多数のパイプとチューブを使用する真空システムで使用される小さなデバイスです。 その主な目的は、パイプを互いにリンクして相互接続すること、またはチューブをチャンバーに接続することです。 フランジは通常、接続されている実際のパイプよりも大きな円周を持つリムとして表示されます。 また、真空フランジをパイプとチャンバーの開口部に取り付けるのに役立つ小さな穴が端にあります。

一般に、真空フランジは、固定タイプまたは回転タイプのいずれかです。 固定フランジには通常、パイプまたはチャンバーの開口部の穴にぴったりと収まる4〜5個の穴があります。 ただし、通常は回転可能な方が穴が多いため、配管工がフランジをどちらかの方向に回転させても、穴はパイプの穴に合わせて調整できます。 次に、フランジとパイプを結合するためにしっかりとねじ込まれたボルトで穴を埋めます。 真空フランジを配管システムに溶接して、小さな穴から圧力が真空システムから漏れないようにすることもできます。

合金は非常に耐久性があることが長い間知られているため、真空フランジの製造で最も一般的に使用される材料の1つです。 鋼のバリエーションはステンレス製またはカーボン製で、フランジの錆びや高温に対する耐性を高めています。 銅、青銅、真鍮、およびアルミニウムも製造材料として使用されます。 真空フランジは、ガラス、セラミック、PVCなどの非金属材料で作成することもできます。 これらの材料はすべて耐久性があり、水、熱、寒さ、さらには圧力によっても風化する可能性があります。

真空フランジには多くの種類があり、標準的な測定値があります。 これらの1つは、クラインフランジ（KF）としても知られるクイックフランジ（QF）です。 QFは通常、パイプ自体に取り付けられたパイプクランプに固定されます。 プラスチックのようなディスクであるOリングは、フランジが最終的にボルトで固定される前に、開口部を密閉するために配置されます。QFは、直径.629インチ（16mm）から1.968インチ（ 50mm）。

大きなフランジについては、国際標準化機構（ISO）がLFまたは「大きなフランジ」を発行しました。LFの種類には8つの異なるサイズがあり、最小サイズは2.5インチ（63.5 mm）です。 中型の真空フランジの直径は7.87インチ（200 mm）ですが、LFの最大サイズは19.68インチ（500mm）です。 QFと同様に、LFにもOリングが付属しており、パイプクランプにも取り付けられています。

別のタイプの真空フランジは「ConFlat」またはCFです。これは、2つのパイプを結合するガスケットのように見えます。 パイプが所定の位置にくると、CFがパイプにボルトで固定され、漏れの余地がなくなります。 CG真空フランジは通常、「超高」真空システムで使用されます。