O que é um evaporador de filme fino?
Um evaporador de filme fino é uma máquina usada para criar filme fino. Ao evaporando ou sublimando vários elementos, um evaporador de filme fino pode depositar camadas extremamente finas de átomos ou moléculas em um material de substrato. A máquina consiste em uma câmara de vácuo, um elemento de aquecimento e um aparelho que mantém e move um substrato enquanto um filme fino é depositado nela.
Existem dois tipos principais de evaporação que podem ser usados para criar um filme fino. Estes são evaporação resistiva e evaporação do feixe de elétrons. Em ambas as técnicas, um material alvo é aquecido em um evaporador de filme fino até que evapora ou sublimados. Como gás, o material alvo se move através de uma câmara de vácuo até pousar em um substrato e forma um filme fino. Ambas as técnicas exigem que os materiais de destino sejam tão estáveis quanto um gás.
Na evaporação resistiva, uma corrente elétrica é passada através de um material alvo, que fica quente à medida que é energizado. Com calor suficiente, o targO material de ET evapora ou sublimada. O ouro e o alumínio são materiais -alvo comuns que podem ser evaporados na forma de fios metálicos, chamados filamentos. Os materiais -alvo na forma de filamentos são difíceis de carregar em um evaporador e só podem ser trabalhados em pequenas quantidades. Um evaporador de filme fino também pode usar folhas finas de um material alvo, que geralmente é mais fácil de trabalhar e produzir mais matéria quando evaporado.
Alguns materiais -alvo não são adequados para a evaporação resistiva, porque podem derramar grandes seções de matéria sólida durante o processo. Se esses sólidos colidirem com o filme fino formado no substrato, eles podem arruiná -lo. A evaporação desses materiais requer o uso de uma fonte de aquecimento fechada que permita que a forma gasosa do material escape através de pequenos orifícios enquanto prende seções de matéria sólida dentro da câmara de aquecimento.
evaporação do feixe de elétrons hComa o material alvo direcionando um feixe de elétrons de alta energia. Nesse tipo de evaporador de filme fino, o material alvo é mantido em uma lareira resfriada enquanto é bombardeada com elétrons e aquecida. Esse processo é útil para materiais de destino com uma temperatura de evaporação muito alta, porque o feixe de energia focado pode aquecer o material alvo sem aquecer todo o aparelho. O recipiente que mantém o material alvo não está exposto ao calor extremo, para que não derreta ou evapore durante o processo. Esse tipo de evaporação de filme fino requer equipamentos específicos e pode ser bastante caro.