박막 증발기 란?

박막 증발기는 박막을 만드는 데 사용되는 기계입니다. 다양한 원소를 증발 또는 승화시킴으로써, 박막 증발기는 기판 재료 상에 매우 얇은 원자 또는 분자 층을 증착 할 수있다. 기계는 진공 챔버, 가열 요소 및 박막이 증착되는 동안 기판을 유지하고 이동시키는 장치로 구성된다.

박막을 만드는 데 사용할 수있는 두 가지 주요 증발 유형이 있습니다. 이들은 저항 증발 및 전자 빔 증발이다. 이들 기술 둘 다에서, 목표 물질은 증발 또는 승화 될 때까지 박막 증발기에서 가열된다. 가스로서, 타겟 물질은 진공 챔버를 통해 기판 상에 떨어지고 박막을 형성 할 때까지 이동한다. 이 두 가지 기술 모두 대상 물질이 가스만큼 안정적이어야합니다.

저항 증발에서는 전류가 목표 물질을 통과하여 통전 될 때 뜨거워집니다. 충분한 열로 대상 물질이 증발 또는 승화됩니다. 금과 알루미늄은 필라멘트라고하는 금속 와이어 형태로 증발 할 수있는 일반적인 대상 재료입니다. 필라멘트 형태의 타깃 재료는 증발기에로드하기 어렵고 소량 만 가공 할 수 있습니다. 박막 증발기는 또한 표적 물질의 얇은 시트를 사용할 수 있으며, 이는 종종 작업시 더 쉽게 작업 할 수 있고 증발 할 때 더 많은 물질을 생성한다.

일부 대상 물질은 공정 중에 많은 양의 고형물을 흘릴 수 있기 때문에 저항 증발에 적합하지 않습니다. 이러한 고형물이 기판의 박막 형성과 충돌하면 망가질 수 있습니다. 이들 물질을 증발시키기 위해서는 가열 챔버 내에 고체 물질 섹션을 포획하면서 기체 형태의 물질이 작은 구멍을 통해 빠져 나갈 수 있도록 밀폐 된 가열 원을 사용해야한다.

전자빔 증발은 고 에너지 전자빔을 지향시킴으로써 타겟 물질을 가열한다. 이러한 유형의 박막 증발기에서, 타겟 물질은 전자로 충격을 받고 가열되는 동안 냉각 된 난로에 유지된다. 이 공정은 집속 된 에너지 빔이 전체 장치를 가열하지 않고도 대상 물질을 가열 할 수 있기 때문에 증발 온도가 매우 높은 대상 물질에 유용합니다. 대상 물질을 담는 용기는 열에 노출되지 않으므로 공정 중에 녹거나 증발하지 않습니다. 이러한 유형의 박막 증발에는 특정 장비가 필요하며 비용이 많이 든다.