박막 증발기 란 무엇입니까?

박막 증발기는 박막을 만드는 데 사용되는 기계입니다. 다양한 원소를 증발 시키거나 승화시킴으로써, 박막 증발기는 극도로 얇은 원자 또는 분자 층을 기판 물질에 증착 할 수있다. 기계는 진공 챔버, 가열 요소 및 박막이 퇴적되는 동안 기판을 유지하고 움직이는 장치로 구성됩니다.

박막을 만드는 데 사용할 수있는 두 가지 주요 유형의 증발 유형이 있습니다. 이들은 저항성 증발 및 전자 빔 증발이다. 이들 기술 모두에서, 표적 물질은 증발 또는 승화 될 때까지 박막 증발기에서 가열된다. 가스로서, 표적 재료는 기질에 착륙하고 박막을 형성 할 때까지 진공 챔버를 통과한다. 이 두 기술 모두 대상 재료가 가스만큼 안정적이어야합니다.

저항성 증발에서 전기 전류는 표적 재료를 통과하며, 이는 에너지가 들어감에 따라 뜨거워집니다. 충분한 열로 TargET 재료는 증발 또는 승화시킨다. 금과 알루미늄은 필라멘트라고 불리는 금속 와이어 형태로 증발 할 수있는 일반적인 표적 재료입니다. 필라멘트 형태의 대상 재료는 증발기에로드하기가 어렵고 소량 만 작동 할 수 있습니다. 박막 증발기는 또한 표적 재료의 얇은 시트를 사용할 수 있으며, 이는 종종 작업하기 쉽고 증발 할 때 더 많은 문제를 일으킨다.

일부 표적 재료는 과정에서 많은 고체 물질을 흘릴 수 있기 때문에 저항성 증발에 부적합합니다. 이들 고형물이 기판에 박막 형성과 충돌하면 그것을 망칠 수있다. 이들 물질을 증발하려면 가열 챔버 내에서 고체 물질의 섹션을 포획하면서 작은 구멍을 통해 탈출 할 수있는 밀폐 된 가열원을 사용해야한다.

전자 빔 증발 h고 에너지 전자 빔을 지시하여 대상 재료를 섭취합니다. 이러한 유형의 박막 증발기에서, 표적 물질은 냉각 된 난로에 유지되는 동안 전자가 폭격되고 가열된다. 이 과정은 매우 높은 증발 온도를 갖는 대상 재료에 유용합니다. 집중된 에너지 빔은 전체 장치를 가열하지 않고 표적 재료를 가열 할 수 있기 때문입니다. 대상 재료를 고정하는 컨테이너는 극한 열에 노출되지 않으므로 공정 중에 녹거나 증발하지 않습니다. 이 유형의 박막 증발에는 특정 장비가 필요하며 비용이 많이들 수 있습니다.