Co je to plazmový lepták?

Plazmový lepták je zařízení, které používá plazmu k vytvoření cest obvodu potřebných polovodičovými integrovanými obvody. Plazmový lepták to dělá tím, že vydává přesně zaměřený na trysek plazmy na křemíkovou oplatku. Když se plazma a oplatka přicházejí do vzájemného kontaktu, na povrchu oplatky dochází k chemické reakci. Tato reakce buď ukládá oxid křemičitý na oplatku, vytváří elektrické dráhy, nebo odstraní již oxid křemíkového oxidu, takže ponechá pouze elektrické dráhy. Toho je dosaženo nejprve vytvořením vakua v leptači a vytvořením vysokofrekvenčního elektromagnetického pole. Když plyn prochází leptáním, elektromagnetické pole vzrušuje atomy v plynu, což způsobí, že se přehřívá.

Jako plynový super-horký se to rozpadne do BAAtomy komponent SE. Extrémní teplo také odstraní vnější elektrony z některých atomů a změní je na ionty. Než plyn opustí trysku na lektu v plazmě a dosáhne oplatky, již neexistuje jako plyn, ale stal se velmi tenkým, přehřátým proudem iontů zvaných plazma.

Pokud se k vytvoření plazmy použije plyn obsahující kyslík, bude reagovat s křemíkem na oplatce a vytvoří oxid křemičitý, elektricky vodivý materiál. Jak proud plazmy prochází přes povrch oplatky přesně kontrolovaným způsobem, vrstva oxidu křemíkového oxidu připomínající velmi tenký film se hromadí na jeho povrchu. Po dokončení procesu leptání bude mít destička silikonu přesná řada stop oxidu křemíku. Tyto skladby budou sloužit jako vodivé cesty mezi komponenty integrovaného obvodu.

Plazmové leptání může také odstranit materiál fROM WAFERS. Při vytváření integrovaných obvodů existují případy, kdy dané zařízení může vyžadovat více povrchové plochy oplatky, aby byl oxid křemíkovým oxidem, než ne. V tomto případě je rychlejší a ekonomičtější umístit oplatku již potaženou materiálem do lektu v plazmě a odstranit nepotřebný oxid křemíku.

Abychom to provedli, lept k vytvoření plazmy na bázi fluorinu. Když fluorová plazma přijde do kontaktu s oxidem křemičitým potahováním oplatky, oxid křemíku je zničen chemickou reakcí. Jakmile Encher dokončí svou práci, zůstávají pouze cesty oxidu křemíkového oxidu potřebného integrovaného obvodu.