Vad är en plasmapeter?
En plasmaätare är en enhet som använder plasma för att skapa de kretsvägar som behövs av halvledarintegrerade kretsar. Plasmapetern gör detta genom att släppa ut en exakt riktad plasmastråle på en kiselskiva. När plasman och skivan kommer i kontakt med varandra inträffar en kemisk reaktion på skivans yta. Denna reaktion avsätter antingen kiseldioxid på skivan, skapar elektriska vägar, eller avlägsnar redan närvarande kiseldioxid, vilket bara lämnar de elektriska vägarna.
Plasmat som en plasmeträtare skapar skapas genom supervärme av en gas som innehåller antingen syre eller fluor, beroende på om det är att ta bort eller avsätta kiseldioxid. Detta åstadkoms genom att först skapa ett vakuum i etsaren och generera ett högfrekvent elektromagnetiskt fält. När gasen passerar genom etsaren, väcker det elektromagnetiska fältet atomerna i gasen, vilket gör att den överhettas.
När gasen värms upp bryts den ner i sina baskomponentatomer. Den extrema värmen kommer också att avlägsna de yttre elektronerna från några av atomerna och ändra dem till joner. När gasen lämnar plasmaetmunstycket och når skivan, existerar den inte längre som en gas utan har blivit en mycket tunn, överhettad jetstråle som kallas plasma.
Om en gas som innehåller syre används för att skapa plasma kommer den att reagera med kisel på skivan och skapa kiseldioxid, ett elektriskt ledande material. När plasma-strålen passerar över ytan på skivan på ett exakt kontrollerat sätt, byggs ett lager kiseldioxid som liknar en mycket tunn film upp på dess yta. När etsningsprocessen är klar kommer kiselskivan att ha en exakt serie kiseldioxidspår över den. Dessa spår kommer att fungera som ledande vägar mellan komponenterna i en integrerad krets.
Plasmaetsare kan också ta bort material från skivorna. När du skapar integrerade kretsar finns det tillfällen där en given anordning kan kräva mer ytyta på skivan för att vara kiseldioxid än inte. I detta fall är det snabbare och mer ekonomiskt att placera en skiva som redan är belagd med materialet i plasmapetern och ta bort den onödiga kiseldioxiden.
För att göra detta använder etern en fluorbaserad gas för att skapa sin plasma. När fluorplasma kommer i kontakt med kiseldioxidbeläggningen av skivan förstörs kiseldioxiden i en kemisk reaktion. När etern har avslutat sitt arbete återstår bara de kiseldioxidvägar som behövs av den integrerade kretsen.