Co je to tenké filmy?

Rozprašování tenkého filmu je proces, ve kterém je tenký film aplikován na povrch tím, že srazí částice z samostatného cílového zdroje. Proces se obecně probíhá v nízkotlaké komoře, do které je čerpána plynná plazma. Pozitivně nabité ionty v tomto plazmovém knock částice bez cílového zdroje v procesu známém jako rozprašování. Tyto částice pak cestují na povrch příjemce, známé jako substrát, kde jsou na něm uloženy ve formě tenkého filmu.

Dvě hlavní metody tenkého filmu jsou přímý proudový (DC) rozprašování a rozprašování frekvence (RF). Při rozprašování DC přímý proud pozitivně nabíjí plazmu, zatímco RF rozprašování používá k jeho nabíjení rádiové vlny. Pozitivně nabitá plazma zrychluje do negativně nabitého cíle a uvolní částice cílového materiálu, který vloží na substrát. DC rozprašování je omezeno na použití pro vodivé materiály, které pojme elektrický proud, zatímco RF rozprašování je vhodnýjedl také pro izolační materiály.

Když jsou vypuštěny z cílového materiálu, částice se pohybují v přímé linii, dokud se s něčím nedostanou do styku. Některé z těchto částic jsou uloženy na povrchu, který je třeba potahovat. Částice cestující jinými směry mohou být místo toho uloženy na stěnách komory nebo na jiných površích uvnitř komory.

Argonový plyn je obvykle plazmový materiál používaný k zaklenutí částic bez cílového materiálu, ale někdy se používají jiné inertní plyny, jako je Neon nebo Krypton. Zrychlená plazma může srazit částice bez tohoto cílového materiálu ve formě jednotlivých atomů, skupin atomů nebo jako molekul. Pro použití v různých aplikacích je k dispozici četné typy rozprašovacích materiálů. Think na tenký film může být použit k uložení kovových nebo nekovových filmů na substrátech vyrobených z kovu, skla nebo jiného materiálus.

Běžné aplikace využívající rozprašování tenkých filmů zahrnují povlak optických nástrojů, jako jsou zrcadla dalekohledu a povlak spotřebních produktů, jako jsou kompaktní disky a digitální video disky. S touto technologií se také vyrábějí elektronická polovodičová zařízení a fotovoltaické panely. Použití rozprašování tenkých filmů se dokonce rozšířilo do výroby léků, které jsou podávány pacientovi ve formě tenkého filmu.

Pro použití této metody existuje řada výhod. Rozprašování tenkých filmů je ve srovnání s jinými podobnými procesy relativně rychlé. Umožňuje také dobrou kontrolu tloušťky usazeného filmu. Kromě toho nemusí být cílové materiály zahřívány jako v procesech odpařování, takže je lze v případě potřeby udržovat při nízké teplotě.