Was ist dünner Film?
Dünnfilm -Sputtern ist ein Prozess, bei dem ein Dünnfilm auf eine Oberfläche aufgetragen wird, indem Partikel von einer separaten Zielquelle abschließt. Der Prozess findet in der Regel in einer niedrigen Druckkammer statt, in die gasförmiger Plasma gepumpt wird. Positiv geladene Ionen in diesem Plasma -Klopfenpartikel frei von der Zielquelle in einem als Sputtern bezeichneten Prozess. Diese Partikel reisen dann zur Empfängeroberfläche, die als Substrat bezeichnet wird und wo sie in Form eines dünnen Films darauf abgelagert werden. Bei DC Sputtering lädt ein Gleichstrom das Plasma positiv auf, während RF Sputtering Funkwellen verwendet, um es aufzuladen. Das positiv geladene Plasma beschleunigt sich in ein negativ geladenes Ziel und befreien Partikel des Zielmaterials, das sich auf das Substrat ablegt. DC Sputtering ist für leitfähige Materialien beschränkt, die einen elektrischen Strom aufnehmen können, während das RF -Sputtern appropri istAuch für Isoliermaterialien gegessen.
Da sie aus dem Zielmaterial ausgeworfen werden, reisen die Partikel in einer geraden Linie, bis sie mit etwas in Kontakt kommen. Einige dieser Partikel werden auf der Oberfläche abgelagert, die beschichtet werden muss. Partikel, die in andere Richtungen fahren, können stattdessen an den Kammerwänden oder anderen Oberflächen in der Kammer abgelagert werden.
Argongas ist typischerweise das Plasma -Material, mit dem Partikel frei vom Zielmaterial klopfen, aber manchmal werden andere inerte Gase wie Neon oder Krypton verwendet. Beschleunigter Plasma kann Partikel frei von diesem Zielmaterial in Form einzelner Atome, Atomegruppen oder als Moleküle klopfen. Zahlreiche Arten von Sputtermaterialien sind für eine Vielzahl von Anwendungen zur Verfügung. Dünnfilm-Sputtern kann verwendet werden, um entweder metallische oder nicht-metallische Filme auf Substraten aus Metall, Glas oder anderen Materialien abzulegens.
Gemeinsame Anwendungen unter Verwendung von Dünnfilm -Spotten umfassen die Beschichtung von optischen Instrumenten wie Teleskopspiegeln und die Beschichtung von Konsumgütern wie Kompakt -Discs und digitalen Video -CDs. Mit dieser Technologie werden ebenfalls elektronische Halbleitergeräte und Photovoltaik -Paneele hergestellt. Die Verwendung von Dünnfilmspotten hat sich sogar in die Herstellung von Medikamenten ausgeweitet, die dem Patienten in Form eines dünnen Films verabreicht werden.
Es gibt eine Reihe von Vorteilen, um diese Methode zu verwenden. Dünnfilmsputter ist im Vergleich zu anderen ähnlichen Prozessen relativ schnell. Es ermöglicht auch eine gute Kontrolle über die Dicke des abgelagerten Films. Darüber hinaus müssen Zielmaterialien nicht wie bei Verdampfungsprozessen erhitzt werden, sodass sie bei Bedarf bei niedriger Temperatur gehalten werden können.