Hvad er DC Magnetron Sputtering?
DC Magnetron Sputtering er en af flere typer sputtering, som er en metode til fysisk dampaflejring af tynde film af et materiale på et andet materiale. De mest almindelige sputteraflejringsmetoder, der blev brugt i 2011, er ionstråle sputtering, diode sputtering og DC magnetron sputtering. Sputtering har en lang række videnskabelige og industrielle anvendelser og er en af de hurtigst voksende produktionsprocesser, der bruges i moderne fremstilling.
Meget enkelt forekommer sputtering i et vakuumkammer, hvor et stof bombarderes med ioniserede gasmolekyler, der fortrænger atomer fra stoffet. Disse atomer flyver af og rammer et målmateriale, kaldes et substrat og bindes til det på et atomniveau, hvilket skaber en meget tynd film. Denne sputteraflejring foregår på et atomniveau, så filmen og underlaget har en næsten ubrydelig binding, og processen producerer en film, der er ensartet, ekstremt tynd og omkostningseffektiv.
Magnetroner bruges i sputteringsprocessen for at hjælpe med at kontrollere thE sti for de fordrevne atomer, der flyver tilfældigt rundt om vakuumkammeret. Kammeret er fyldt med en lavtryksgas, ofte argon, og adskillige højspændingsmagnetron-katoder placeres bag belægningsmaterialemålet. Højspændingsstrømme fra magnetronerne over gassen og skaber plasma med høj energi, der slår belægningsmaterialemålet. Kraften genereret af disse plasma -ion -strejker forårsager atomer til at skubbe ud af belægningsmaterialet og binding med underlaget.
De atomer, der kastes ud i sputteringsprocessen, flyver normalt gennem kammeret i tilfældige mønstre. Magnetoner producerer magnetfelter med høj energi, der kan placeres og manipuleres for at opsamle og indeholde det genererede plasma omkring underlaget. Dette tvinger de kastede atomer til at rejse forudsigelige stier til underlaget. Ved at kontrollere atomernes sti kan filmaflejringshastigheden og tykkelsen også væreforudsagt og kontrolleret.
Brug af DC Magnetron Sputtering giver ingeniører og forskere mulighed for at beregne tidspunkter og processer, der er nødvendige for at producere specifikke filmkvaliteter. Dette kaldes processtyring, og det gør det muligt at bruge denne teknologi af industrien i massefremstillingsoperationer. For eksempel bruges sputtering til at skabe belægninger til optiske linser, der bruges i genstande som kikkert, teleskoper og infrarødt og nattsynsudstyr. Computerbranchen bruger cd'er og dvd'er, der blev fremstillet ved hjælp af sputteringsprocesser, og halvlederindustrien bruger sputtering til at belægge mange typer chips og skiver.
Moderne højeffektiv isoleret Windows bruger glas, der blev coatet ved hjælp af sputtering, og mange hardware, legetøj og dekorative genstande fremstilles ved hjælp af denne proces. Andre industrier, der bruger sputtering, inkluderer luftfarts-, forsvars- og bilindustrien, den medicinske, energi, belysning og glasindustrier og mange andre. På trods af sin allerede brede anvendelse, industRy fortsætter med at finde nye anvendelser til DC Magnetron Sputtering.