Was ist DC Magnetron Sputtering?
Gleichstrom -Magnetron -Sputtern ist eine von verschiedenen Arten von Sputtern, eine Methode zur physikalischen Dampfabscheidung von dünnen Filmen eines Materials auf ein anderes Material. Die am häufigsten verwendeten Sputter -Abscheidungsmethoden, die 2011 verwendet werden, sind Ionenstrahl -Sputter-, Diodensputter- und DC -Magnetron -Sputter. Das Sputter hat eine Vielzahl wissenschaftlicher und industrieller Anwendungen und ist eines der am schnellsten wachsenden Produktionsprozesse in der modernen Herstellung. Diese Atome fliegen ab und treffen ein Zielmaterial, das als Substrat bezeichnet wird, und verbinden sich auf atomarer Ebene, wodurch ein sehr dünner Film erzeugt wird. Diese Sputterabscheidung erfolgt auf atomarer Ebene, sodass der Film und das Substrat eine praktisch unzerbrechliche Bindung haben und der Prozess einen Film erzeugt, der einheitlich, extrem dünn und kostengünstig ist.E Pfad der vertriebenen Atome, die zufällig um die Vakuumkammer fliegen. Die Kammer ist mit einem Niederdruckgas, häufig Argon, gefüllt, und mehrere Hochspannungs-Magnetron-Kathoden werden hinter dem Beschichtungsmaterialziel gelegt. Hochspannung fließt von den Magnetronen über das Gas und erzeugt ein hohes Energieer, das das Beschichtungsmaterialziel trifft. Die durch diese Plasmaionstreiks erzeugte Kraft führt dazu
Die Atome, die im Sputterprozess ausgeworfen werden, fliegen normalerweise in zufälligen Mustern durch die Kammer. Magnetrone erzeugen energiereiche Magnetfelder, die positioniert und manipuliert werden können, um das erzeugte Plasma um das Substrat zu sammeln und zu enthalten. Dies zwingt die ausgestoßenen Atome, vorhersehbare Wege zum Substrat zu wandern. Durch die Kontrolle des Pfades der Atome kann die Filmabscheidungsrate und Dicke auch seinvorhergesagt und kontrolliert.
Mithilfe von DC -Magnetronsputter können Ingenieure und Wissenschaftler Zeiten und Prozesse berechnen, die zur Erzeugung spezifischer Filmqualitäten erforderlich sind. Dies wird als Prozesskontrolle bezeichnet und ermöglicht es dieser Technologie, von der Industrie im Massenherstellungsbetrieb eingesetzt zu werden. Zum Beispiel wird das Sputtern verwendet, um Beschichtungen für optische Objektive zu erstellen, die in Gegenständen wie Ferngläser, Teleskopen und Infrarot- und Nachtsichtgeräten verwendet werden. Die Computerindustrie verwendet CDs und DVDs, die mit Stachelprozessen hergestellt wurden, und die Halbleiterindustrie verwendet Sputtern, um viele Arten von Chips und Wafern zu beschichten.
moderne hocheffiziente isolierte Fenster verwenden Glas, das mit Sputtering beschichtet wurde, und viele Hardware-, Spielzeug- und Dekorationsgegenstände werden mit diesem Prozess hergestellt. Andere Branchen, die Sputtering verwenden, sind die Luft- und Raumfahrt-, Verteidigungs- und Automobilindustrien, die medizinischen, Energie-, Beleuchtungs- und Glassindustrien und viele andere. Trotz seiner bereits weit verbreiteten Verwendung, Indust,Ry findet weiterhin neue Verwendungen für DC Magnetron Sputtering.