Vad är DC magnetron sputtering?

DC magnetron sputtering är en av flera typer av sputtering, vilket är en metod för fysisk ångavsättning av tunna filmer av ett material på ett annat material. De vanligaste deponeringsmetoderna som användes 2011 är jonstrålsputtering, diodsputtering och DC -magnetronsputtering. Sputtering har ett brett utbud av vetenskapliga och industriella användningsområden och är en av de snabbast växande produktionsprocesserna som används i modern tillverkning.

Mycket enkelt inträffar sputtering i en vakuumkammare, där ett ämne bombarderas med joniserade gasmolekyler som förskjuter atomer från ämnet. Dessa atomer flyger av och träffar ett målmaterial, kallat ett substrat och binds till det på atomnivå, vilket skapar en mycket tunn film. Denna sputteravlagring görs på atomnivå, så filmen och underlaget har en praktiskt taget obrottsbar bindning och processen producerar en film som är enhetlig, extremt tunn och kostnadseffektiv.

Magnetroner används i sputteringsprocessen för att kontrollera THE -vägen för de fördrivna atomerna som flyger slumpmässigt runt vakuumkammaren. Kammaren är fylld med en lågtrycksgas, ofta argon, och flera högspänningsmagnetronkatoder placeras bakom beläggningsmaterialmålet. Högspänningsflöden från magnetronerna över gasen och skapar högenergiplasma som slår beläggningsmaterialets mål. Kraften som genereras av dessa plasmjonstrejker får atomer att mata ut från beläggningsmaterialet och bindning med underlaget.

Atomerna som matas ut i sputteringsprocessen flyger vanligtvis genom kammaren i slumpmässiga mönster. Magnetroner producerar magnetfält med hög energi som kan placeras och manipuleras för att samla och innehålla den genererade plasma runt underlaget. Detta tvingar de utkastade atomerna att resa förutsägbara vägar till underlaget. Genom att kontrollera atomernas väg kan filmavlagringshastigheten och tjockleken också varaförutsagd och kontrollerad.

Med hjälp av DC Magnetron Sputting gör det möjligt för ingenjörer och forskare att beräkna tider och processer som behövs för att producera specifika filmkvaliteter. Detta kallas processkontroll, och det gör att denna teknik kan användas av industrin inom masstillverkning. Till exempel används sputtering för att skapa beläggningar för optiska linser som används i föremål som kikare, teleskop och infraröd och nattvisionsutrustning. Datorindustrin använder CD -skivor och DVD -skivor som tillverkades med hjälp av sprutande processer, och halvledarindustrin använder sputtering för att täcka många typer av chips och wafers.

Moderna högeffektiva isolerade fönster använder glas som var belagt med hjälp av sputtering, och många hårdvara, leksak och dekorativa föremål tillverkas med denna process. Andra industrier som använder sputtering inkluderar flyg-, försvars- och bilindustrin, medicinska, energi-, belysnings- och glasindustrin och många andra. Trots dess redan bred användning, industRY fortsätter att hitta nya användningsområden för DC Magnetron sputtering.