Was ist ein Sputtersystem?
Sputtern ist ein Prozess von Dünnfilmablagerung, bei dem ein festes Zielmaterial auf die Oberfläche eines Substrats ausgeworfen wird, um eine dünne Beschichtung zu bilden. Ein Sputtersystem ist eine Maschine, bei der ein Sputterprozess auftritt. Es enthält den gesamten Prozess und ermöglicht es einem Benutzer, die Materialien der Temperatur, Leistung, Druck, Ziel und Substrat anzupassen. In einem Sputtersystem enthält eine Vakuumkammer das Zielmaterial, eine Stromquelle und ein Gasplasma. Das Gas, das normalerweise ein edler Gas wie Argon ist, wird bei einem sehr niedrigen Druck in die Kammer gebracht, um den Prozess zu starten. Dies führt dazu, dass das Gas positive Ionen ionisieren und bildet, die als Kationen bekannt sind. Diese Kationen bombardieren wiederum das Zielmaterial, klopfenKleine Stücke davon, die durch die Kammer reisen und sich auf dem Substrat ablegen. Der Prozess ist in der Sputtersystemkammer leicht aufrechtzuerhalten, da während der Ionisierung des Gasplasmas zusätzliche Elektronen befreit werden.
Sputtersysteme variieren in Bezug auf Struktur, Stromquelle, Größe und Preis. Die Ausrichtung des Zielmaterials und des Substrats ist für jede Maschine spezifisch. Einige Systeme werden dem Zielmaterial parallel zur Oberfläche des Substrats ausgesetzt, während andere eine der beiden Oberflächen zu einem anderen Ablagerungsmuster neigen. Konfokales Sputter, zum Beispiel, orientiert mehrere Einheiten von Zielmaterial in einem Kreis, der auf einen Brennpunkt hinweist. Das Substrat in dieser Art von System kann dann für eine gleichmäßigere Ablagerung gedreht werden.
Die Stromquelle variiert ebenfalls, da bestimmte Systeme Gleichstromleistung (DC) anwenden, während andere Radiofrequenz (RF) -Leistung verwenden. Eine TypE des Sputtersystems, bekannt als Magnetron -Sputter, umfasst auch Magnete, um die freien Elektronen zu stabilisieren und die Ablagerung der Dünnfilme auszuschließen. Diese Methoden geben dem Sputtersystem unterschiedliche Qualitäten in Bezug auf Temperatur und Abscheidungsgeschwindigkeit.
Sputtersysteme reichen von Desktop -Systemen bis zu großen Maschinen, die größer sind als ein Kühlschrank. Die innere Kammer variiert ebenfalls in der Größe, ist jedoch im Allgemeinen viel kleiner als die Maschine selbst; Die meisten Kammern haben Durchmesser, die kleiner als 1 Meter (ca. 1 Meter) sind. Die Kosten für ein Sputtersystem liegen zwischen weniger als 20.000 US -Dollar US -Dollar (USD) bis hin zu 650.000 USD für ein neues oder kundenspezifisches System.