Co je Augerova elektronová spektroskopie?
Augerova elektronová spektroskopie (AES) se často používá ke stanovení chemického složení tenké mikroskopické vrstvy povrchu. Částice nazývané elektrony jsou obvykle zaměřeny na materiál a spouštějí Augerův efekt, ve kterém je odstraněn elektron z vnitřní skořepiny atomu, zaujímá místo částice vyšší úrovně a je emitován další elektron. Testování se provádí ve velmi vysokém vakuu a obvykle se provádí pomocí elektronové pistole, analyzátoru, detektoru a záznamníku dat. Informace jsou obvykle analyzovány graficky; povaha píků obvykle pomáhá určit, jaké sloučeniny jsou ve vzorku přítomny.
Paprsky elektronů jsou často používány, ačkoli rentgeny jsou někdy uvolněny místo toho. Použitý typ materiálu určuje; oxidy mohou například degradovat, jsou-li vystaveny vysokým hladinám elektronů. Látky lze identifikovat, protože energie Augerova elektronu je pro prvek obvykle jedinečná. V Augerově elektronové spektroskopii částice, které uniknou, nejsou obecně tak energetické jako ostatní. Obecně musí být velmi blízko povrchu, aby mohli uniknout, a jakékoli plyny přítomné během AES mohou zabránit částici dosáhnout detektoru.
Elektronová zbraň použitá v Augerově elektronové spektroskopii obvykle sestává ze zdroje částic a čočky, která paprsek zaostřuje. Čočka může být buď elektrostatická nebo elektromagnetická; to, které se používá, závisí na požadovaném rozlišení. Analyzátor elektronové energie, který je součástí techniky Augerovy elektronové spektroskopie, může třídit emitované částice podle jejich úrovně energie. Analyzátor může být navržen jako válcové zrcadlo nebo jako dvě polokulové soustředné skořepiny.
Pro Augerovu elektronovou spektroskopii se často používají jednokanálové nebo vícekanálové detektory. Data se poté analyzují pomocí sad píků v grafu. Dokončení skenování obvykle trvá několik minut, zatímco měření s vysokým rozlišením může trvat až 25 minut. Průzkumné průzkumy obvykle identifikují, jaké prvky jsou přítomny, zatímco další skenování může zjistit, jak koncentrované jsou určité atomy. Pokud je paprsek skenován napříč vzorkem, může být vytvořena mapa měřeného povrchu.
Augerova elektronová spektroskopická věda se často používá v mnoha fyzických a chemických aplikacích. Kromě identifikačních prvků na površích lze použít k detekci oxidace a koroze. Teplotní odezva a související únava lze analyzovat pomocí AES. Tuto techniku lze také použít ke kontrole kontaminantů integrovaných obvodů, ale omezením procesu je to, že často dochází k poškození povrchu testovaného materiálu.